【設備特點】
1、精確溫濕度調控：確保曝光機、顯影/ 涂布設備等制程良率
2、定制化風量設計：根據(jù)客戶的具體需求，定制風量，送風單元結構均勻布置，確?？諝饬魍ǖ木鶆蛐裕M一步提升制程質量。
3、超準溫度控制：溫度控制精度高達±0.01℃，遠超行業(yè)標準，為產線環(huán)境提供了穩(wěn)定性，從而確保了產品的優(yōu)良率。
【產品應用】
1、溫度控制精度：±0.1℃~±0.01℃
2、濕度控制精度：±2%RH~±1%RH
3、廣泛適用領域：該設備廣泛應用于面板廠、晶圓廠、封裝測試廠等精密溫濕度控制領域，助力企業(yè)提升產品質量，確保生產過程的穩(wěn)定與高效。
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