泵軸位置	臥式	抽氣量	見參數(shù)
輸送介質(zhì)	其他	外形尺寸	見參數(shù)
葉輪數(shù)目	單級	應(yīng)用領(lǐng)域	石油,能源,電子,電氣,綜合
最大工作壓強	見參數(shù)

計測熱銷EBARA荏原高負載工藝用干式真空泵

產(chǎn)品介紹

EBARA 高溫技術(shù)支持在半導(dǎo)體、液晶和太陽能電池制造過程中產(chǎn)生反應(yīng)副產(chǎn)物的高負荷工藝。由于其高節(jié)能性能，能夠支持高負載流程，同時節(jié)省能源。另有排量110,000L/min的大排量型號，標配耐腐蝕材料。憑借針對工藝條件量身定制的豐富產(chǎn)品陣容，我們可以應(yīng)對各種高負載工藝。

EV-M型

干式真空泵非常適合節(jié)能和高負載工藝

兼容高負載流程

兼容高溫控制

節(jié)能

耐腐食性材料標準采用

耐腐蝕性改進選項

不同頻率 (50/60Hz) 下具有相同的性能

無油

提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL 兼容

模型		單元	電動車M20N	EV-M102N	EV-M202N	EV-M302N	EV-M502N	EV-M505SF	EV-M802N	EV-M805SF	EV-M1205SF
抽速		升/分鐘	1,800	10,000	20,000	30,000	5萬	5萬	8萬	8萬	110,000
極限壓力		出色地	5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
連接直徑	進氣口		西北40	感光度100	感光度100	感光度100	ISO160	ISO160	ISO200	ISO200	ISO200
連接直徑	排氣口		西北40	西北40	西北40	西北40	西北40	西北40	西北40	西北40	西北40
極限壓力下的近似功率值		千瓦	1.2	1.8	1.9	2.3	2.1	3.9	2.8	4.6	5.3
冷卻水	流量	升/分鐘	3~8	3~8	3.5~8	4~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8
冷卻水	溫度	℃	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30
氮氣	流量	帕•立方米/秒	26~31	26~31	26~31	26~31	28~33	228	28~33	228	34~35
電源相位/電壓/頻率	200V型號		3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz
電源相位/電壓/頻率	400V型號		3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	-	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz
電源容量		千伏安	3.3	5.4	6	6.8	7.1	15.7	8.3	19.4	14.2
概略質(zhì)量		公斤	170	320	360	400	500	580

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