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熱銷(xiāo)EBARA荏原耐腐蝕用真空泵EV-S200P/N

產(chǎn)品介紹
這是一款適用于中型工藝的干式真空泵，配備了荏原的節(jié)能技術(shù)，并采用了針對(duì)自動(dòng)化工廠制造優(yōu)化的模塊設(shè)計(jì)，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了小型化和節(jié)能。
寬范圍的溫度控制擴(kuò)展了適用的工藝。由于同一個(gè)模型可以覆蓋多個(gè)流程，因此可以?xún)?yōu)化備用設(shè)備庫(kù)存，減少維護(hù)和培訓(xùn)工作量，并靈活應(yīng)對(duì)未來(lái)的流程擴(kuò)展。此外，每個(gè)工藝的最佳溫度控制可提高工藝耐用性，并通過(guò)延長(zhǎng)零件更

熱銷(xiāo)EBARA荏原耐腐蝕用真空泵EV-S200P/N

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轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)和空轉(zhuǎn)功能實(shí)現(xiàn)了的能效和緊湊性。有助于降低運(yùn)行成本。此外，還提供耐腐蝕材料選項(xiàng)，以適應(yīng)各種應(yīng)用，從裝載鎖和 SEM 等輕型應(yīng)用到腐蝕工藝。

荏原株式會(huì)社（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“荏原"）精機(jī)電子公司藤澤工廠今年5月干式真空泵累計(jì)出貨量達(dá)到15萬(wàn)臺(tái)。這是自1986年第一臺(tái)機(jī)器發(fā)貨以來(lái)，時(shí)隔32年取得的成就。

直到 20 世紀(jì) 80 年代，油旋轉(zhuǎn)泵一直是半導(dǎo)體制造工藝中使用的主流真空泵，但隨著對(duì)更清潔的真空環(huán)境的需求隨著集成度的提高而增加，我們應(yīng)用了我們的核心競(jìng)爭(zhēng)力——旋轉(zhuǎn)機(jī)械技術(shù)，我們已經(jīng)將干式真空商業(yè)化。在與氣體接觸的部位不使用密封液的泵。我們的干式真空泵不僅能產(chǎn)生潔凈的真空，而且采用非接觸式密封結(jié)構(gòu)，減少了維護(hù)頻率。利用這些功能，應(yīng)用目前已從半導(dǎo)體和顯示器制造擴(kuò)展到太陽(yáng)能電池、LED、鋰離子二次電池和各種分析設(shè)備等廣泛的行業(yè)。

根據(jù)中期管理計(jì)劃（E-Plan2019）的措施，荏原將在2019年之前啟動(dòng)生產(chǎn)效率大幅提高的干式真空泵全自動(dòng)化工廠，深化與海外生產(chǎn)基地的合作，并繼續(xù)響應(yīng)半導(dǎo)體市場(chǎng)的穩(wěn)定需求和各領(lǐng)域客戶(hù)的要求。

便攜式EV-PA型等小型節(jié)能風(fēng)冷式、水冷式干式真空泵、實(shí)現(xiàn)更高流量的廢氣處理裝置、實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體超微細(xì)制造的CMP裝置、Fan-out等我們將展示對(duì)封裝技術(shù)至關(guān)重要的電鍍?cè)O(shè)備，以及消除導(dǎo)致良率下降的晶圓邊緣缺陷的斜角拋光設(shè)備。

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