1、不要使用有機(jī)化合物，酸類，腐蝕性的溶劑清洗，也不要潤(rùn)滑任何部位，否則會(huì)減少泵的使用壽命，使用水系的溶劑即可。
2、操作人員應(yīng)熟悉說(shuō)明書(shū)，了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無(wú)顆粒灰塵，有無(wú)腐蝕性等。選擇與被抽氣體相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。
3、抗腐蝕真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。
4、抗腐蝕真空泵設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí)，應(yīng)該選各種無(wú)油泵，如分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。
5、維修時(shí)一定要斷開(kāi)電源，如果電機(jī)無(wú)法運(yùn)轉(zhuǎn)，或者其在壓力下開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)緩慢，關(guān)掉開(kāi)關(guān)，斷開(kāi)電源。確保供給電源與銘牌上所示電源一致。檢查插頭，電線還有開(kāi)關(guān)，看是否有老化脫落現(xiàn)象。如果泵過(guò)熱，或者噪音過(guò)大，立即停止運(yùn)轉(zhuǎn)，進(jìn)行維修。
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