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池田屋實業(yè)(深圳)有限公司
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UR600ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 真空泵
| 參考價: | ￥ 30050 |
| 訂貨量: | 1臺 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- UR600 產(chǎn)品型號
- ULVAC/日本愛發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù)：328更新時間：2024-05-29 11:51:47
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產(chǎn)品簡介
| 泵軸位置 | 其他 | 抽氣量 | 見參數(shù) |
|---|---|---|---|
| 抽氣速率 | 見參數(shù)l/s | 電壓 | 見參數(shù)V |
| 功率 | 見參數(shù)kW | 極限壓力 | 見參數(shù)pa |
| 流量 | 見參數(shù)m3/h | 排出口徑 | 見參數(shù)mm |
| 輸送介質(zhì) | 其他 | 外形尺寸 | 見參數(shù) |
| 揚程 | 見參數(shù)m | 葉輪數(shù)目 | 其他 |
| 應用領域 | 食品,化工,能源,建材,綜合 | 重量 | 見參數(shù)kg |
| 最大工作壓強 | 見參數(shù) | 訂貨號 | 175.030.770.78 周璇 |
通過高溫領域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵
產(chǎn)品介紹
ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 真空泵
ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 真空泵
特點
高溫區(qū)域均熱化
實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
UR系列可比HR系列更加高溫化。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動機形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)相關的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。
用途
CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等
規(guī)格
| 型號 | UR421-T | UR600 | UR1200 | UR1800 | UR3601-TT | ||||
| 使用泵 | 干式真空泵 | UR421-T | UR90 | UR90 | UR180 | UR421-T | |||
| 機械增壓泵 | - | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C-T | ||||
| 最大 排氣速度 | 50Hz | 410 m3/h (6833 L/min) | 653 m3/h (10883 L/min) | 1012 m3/h (16867 L/min) | 1701 m3/h (28350 L/min) | 2700 m3/h (45000 L/min) | |||
| 到達壓力 | 5.0 Pa | ||||||||
| 最大排氣壓力（吸入圧力） | 大氣壓 | ||||||||
| 最大排氣口壓力 （排出圧力） | 1.0~ 大氣壓 Pa | ||||||||
| 吸氣口 (CE規(guī)格) | VG100 | VG80(NW80) | VG100(NW100) | VG150(NW100) | VG150 | ||||
| 排氣口 | VG50 | NW40 | NW50 | ||||||
| 質(zhì)量 | 415 kg | 370 kg | 403 kg | 553 kg | 720 kg | ||||
| 電源 *2 | 三相 | 180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz) | 200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz) | 180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz) | |||||
| 電流值 | 穩(wěn)定時 | 23 A(at 200V) | 16.4 A(at 200V) | 18.9 A(at 200V) | 29.2 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | 39.8 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | |||
| 最大值 | 52.5 A(at 200V) | 17.3 A(at 200V) | 22. 4 A(at 200V) | 34.9 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | 68.3 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | ||||
| 冷卻水一次壓力 | 0.2~0.5 Mpa | 0.1~0.3 Mpa | 0.2~0.5 Mpa | ||||||
| 冷卻水出入口壓差 | >0.2 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.2 Mpa | ||||
| 冷卻水流量 | >5.0 L/min | ||||||||
| 吹掃氣 | 一次壓力 | 0.1~0.5 Mpa | |||||||
| 二次壓力 | 0.05~0.1 Mpa | ||||||||
| N2吹掃 | 軸 | 5 SLM | |||||||
| 氣鎮(zhèn) | 0~195 SLM | 0~45 SLM | 0~195 SLM | 0~195 SLM | |||||
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