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深圳市京都玉崎電子有限公司

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供應(yīng)簡(jiǎn)介

ULVAC愛(ài)發(fā)科精品手動(dòng) 高速光譜橢偏儀

透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等）的膜厚、折射率、消光系數(shù)的測(cè)量

詳細(xì)介紹

ULVAC愛(ài)發(fā)科精品手動(dòng) 高速光譜橢偏儀

UNECS系列是一款光譜橢偏儀，可高速、高精度測(cè)量薄膜的厚度和折射率。采用測(cè)量方法，實(shí)現(xiàn)高速測(cè)量和緊湊化。我們提供廣泛的產(chǎn)品陣容，以適應(yīng)不同的應(yīng)用，包括便攜式類型、自動(dòng)平臺(tái)類型和與真空環(huán)境兼容的內(nèi)置類型。

UNECS-1500M配備了易于操作的手動(dòng)R-θ平臺(tái)，兼容φ150mm，使測(cè)量定位變得容易。

用途

透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等）的膜厚、折射率、消光系數(shù)的測(cè)量

特征

高速測(cè)量：

采用快照方式，實(shí)現(xiàn)了最高速度20ms的高速測(cè)量。

兼容可見(jiàn)光譜：

波長(zhǎng)范圍可選擇標(biāo)準(zhǔn)型（530nm~750nm）和可見(jiàn)光譜型（380nm~760nm）。

緊湊的傳感器單元：

光發(fā)射/接收傳感器僅由光學(xué)元件組成，沒(méi)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，并且非常輕便和緊湊，并且不需要定期維護(hù)。

豐富的產(chǎn)品陣容：

我們擁有可適應(yīng)各種應(yīng)用的產(chǎn)品陣容，包括便攜式類型、手動(dòng)/自動(dòng)平臺(tái)類型、大型基板類型以及與大氣/真空環(huán)境兼容的內(nèi)置類型。

規(guī)格

波長(zhǎng)范圍		530~750nm、380~760nm（任選其一）
光斑直徑		φ1mm、φ0.3mm（任選其一）
入射角度		70o固定
膜厚再現(xiàn)性		1σ = 0.1nm
膜厚范圍		1nm?2μｍ
測(cè)量時(shí)間		受光：20ms ? 3000ms　演算：300ms
階段		φ150mm手動(dòng)R-θ平臺(tái)
控制電腦		筆記本型（帶操作/分析軟件）
機(jī)器構(gòu)成		測(cè)量主體（帶手動(dòng)載物臺(tái)、控制箱）、光源裝置、操作電腦（筆記本電腦型）、使用說(shuō)明書(shū)（CD）

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