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常用于：半導(dǎo)體 晶片生產(chǎn)中使用的多關(guān)節(jié)機器人的振動檢查，
生產(chǎn)半導(dǎo)體晶片時，必須使用多關(guān)節(jié)機器人進行生產(chǎn)，3軸加速度傳感器MA3系列"可以檢測到發(fā)生了異常的沖擊，
3軸加速度傳感器MA3系列"通過模擬電壓的變化輸出X、Y、Z方向的加速度。輸出可導(dǎo)入PLC，設(shè)置閾值進行判定
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
3軸加速度在線振動傳感器
3軸加速度在線振動傳感器
3軸加速度傳感器引線型
半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)中使用的多關(guān)節(jié)機器人的振動監(jiān)視開發(fā)·面向品質(zhì)管理的事例介紹
生產(chǎn)半導(dǎo)體晶片時，必須使用多關(guān)節(jié)機器人進行生產(chǎn)。
在這種情況下，機器人搬運時給產(chǎn)品帶來的異常沖擊會導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量劣化，因此是一個很大的課題。
因此，本公司產(chǎn)品的“3軸加速度傳感器MA3系列"可以檢測到發(fā)生了異常的沖擊，因此有組裝到機器人中使用的例子。
“3軸加速度傳感器MA3系列"通過模擬電壓的變化輸出X、Y、Z方向的加速度。輸出可導(dǎo)入PLC，設(shè)置閾值進行判定。
根據(jù)判定結(jié)果通知異常，根據(jù)情況也可以停止設(shè)備。
“3軸加速度傳感器MA3系列"有通用型和高頻型兩種，可以根據(jù)產(chǎn)生的加速度的頻帶選擇。
另外，根據(jù)發(fā)生的加速度的大小，也可以選擇測量范圍。
設(shè)備狀態(tài)監(jiān)測的最佳一臺建議！
支持高G、高頻的3軸加速度傳感器
不需要內(nèi)置放大器工程，連接也很簡單。
國內(nèi)生產(chǎn)、高品質(zhì)、公司內(nèi)部校正品質(zhì)支持體制完備。
沖壓機發(fā)生異常時自動停止，防止模具破損和成品率下降
拾音器的對應(yīng)幅度很豐富。沖壓機的高G高頻的沖擊也能測量。
不僅是加工裝置的異常發(fā)生，還進行原因的確定，提高成品率、生產(chǎn)效率
通過對加速度的測量數(shù)據(jù)進行頻率分析等，確定發(fā)生異常預(yù)兆的部件。
將切削加工裝置與其他公司制造的PLC（序列發(fā)生器）連接，也可以進行導(dǎo)入成本低的異常監(jiān)視
因為是內(nèi)置放大器，所以只需直接連接已經(jīng)導(dǎo)入的PLC就可以測量。
| 型式 | 検出範(fàn)囲 | |
|---|---|---|
| 5VDC入力時 | 3VDC入力時 ※1 | |
| MA3-04AD | ±40m/s2 (±4G) | ±20m/s2 (±2G) |
| MA3-10AD | ±100m/s2 (±10G) | ±50m/s2 (±5G) |
| MA3-20AD | ±200m/s2 (±20G) | ±100m/s2 (±10G) |
| MA3-50AD | ±500m/s2 (±50G) | ±250m/s2 (±25G) |
| MA3-100AD | ±1000m/s2 (±100G) | ±500m/s2 (±50G) |
| MA3-1000AD | ±10000m/s2 (±1000G) | ±10000m/s2 (±1000G) |
※1 弊社モーションレコーダーシリーズに接続した場合、こちらの検出範(fàn)囲になります。
| 型式 | 検出感度 |
|---|---|
| MA3-04AD | 50mV/m/s2 ±10% (500mV/G ±10%) |
| MA3-10AD | 20mV/m/s2 ±10% (200mV/G ±10%) |
| MA3-20AD | 10mV/m/s2 ±10% (100mV/G ±10%) |
| MA3-50AD | 4mV/m/s2 ±10% (40mV/G ±10%) |
| MA3-100AD | 2mV/m/s2 ±10% (20mV/G ±10%) |
| MA3-1000AD | 0.1mV/m/s2 ±10% (1.0mV/G ±10%) |
| 型式 | オフセット電圧 |
|---|---|
| MA3-04AD | Vcc/2 ±0.2V |
| MA3-10AD | Vcc/2 ±0.1V |
| MA3-20AD | |
| MA3-50AD | |
| MA3-100AD | |
| MA3-1000AD | |
| 型式 | 応答周波數(shù) ※2 |
|---|---|
| MA3-04AD | 0.8～1000Hz |
| MA3-10AD | |
| MA3-20AD | |
| MA3-50AD | |
| MA3-100AD | |
| MA3-1000AD | 0.8～2000Hz |
※2 ±3dBにて規(guī)定
| 型式 | 非直線性 |
|---|---|
| MA3-04AD | ±2%FS |
| MA3-10AD | |
| MA3-20AD | |
| MA3-50AD | |
| MA3-100AD | |
| MA3-1000AD | ±1.5%FS |
| 項目 | 仕様?定格 |
|---|---|
| 供給電圧(Vcc) | 3～5VDC |
| 消費電流 | 0.5mA未満 |
| 他軸感度 | ±10% |
| 動作溫度 | ?20～80℃ |
| 保存溫度 | ?30～90℃ |
| 最大印加電圧 | 7V |
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