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SIMCO 5225電腦操控可多根連合的離子棒的資料
Simco-Ion 型號(hào) 5225 離子棒,以數(shù)碼電路設(shè)計(jì)和透過(guò)軟件操控,滿足設(shè)備內(nèi)的防靜電需求。它提供高離子輸出量,能快速中和晶圓上的靜電,符合 E78 標(biāo)準(zhǔn)上嚴(yán)格的要求。棒身以空氣動(dòng)力學(xué)設(shè)計(jì)和高潔凈度材料制造,使得 5225 離子棒在微型潔凈室內(nèi),全發(fā)揮靜電防控能力,而不干擾室內(nèi)層流氣流。
5225 離子棒能結(jié)合設(shè)備系統(tǒng),使用預(yù)編軟件或開(kāi)放的源代碼范例,與設(shè)備接口的無(wú)縫連接,作出低成本的靜電防控方案,減低維護(hù)費(fèi)用,和有更好的警報(bào)功能。系統(tǒng)警報(bào)和信息能交替顯示在設(shè)備控制器上,另有設(shè)備監(jiān)控輸出作其他警報(bào)提醒。
Simco-Ion 強(qiáng)大的軟件系統(tǒng)提供全面的離子棒控制,設(shè)置包括:工作模式調(diào)整 (脈沖模式,穩(wěn)態(tài)模式,待機(jī)),信號(hào)同步,電離開(kāi)關(guān)時(shí)間,輸出功率,正負(fù)極的警報(bào)閾值,每根棒都能獨(dú)立設(shè)置。精準(zhǔn)的警報(bào)和維修檢測(cè),也能降低的故障耗時(shí)和診斷工作。
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