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當(dāng)前位置：深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司>>元素分析儀>>氮化鋁>> FAN-090/FAN-170/FAN-200日本furukawa氮化鋁陶瓷零件半導(dǎo)體制造設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)FAN-090/FAN-170/FAN-200
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時(shí)間：2024-10-13 20:10:02瀏覽次數(shù)：497次
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| 供貨周期 | 一個(gè)月 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|
日本furukawa氮化鋁陶瓷零件半導(dǎo)體制造設(shè)備 FAN-090/FAN-170/FAN-200 特點(diǎn)介紹
半導(dǎo)體制造設(shè)備（用于前端工藝）需要應(yīng)對(duì)更小的設(shè)計(jì)規(guī)則和更大的晶圓直徑（300mmφ或更大）。為此，構(gòu)成設(shè)備的部件材料的選擇極其重要。
氮化鋁（AlN）是一種平衡良好的材料，具有優(yōu)異的導(dǎo)熱性、熱輻射（散熱）、抗熱震性和電絕緣性，并且具有與硅晶片相匹配的熱膨脹性。
利用古河電子的燒成技術(shù)，我們還能夠制造550mmφ氮化鋁陶瓷部件。我們還將應(yīng)對(duì)更大直徑的晶圓。
具有高導(dǎo)熱率和熱發(fā)射率，受熱均勻性高。
它具有抗熱沖擊能力，可以承受快速加熱和冷卻。
與硅相匹配的低熱膨脹。
對(duì)氟氣具有優(yōu)異的耐腐蝕性。
日本furukawa氮化鋁陶瓷零件半導(dǎo)體制造設(shè)備 FAN-090/FAN-170/FAN-200 規(guī)格參數(shù)
半導(dǎo)體制造裝置（CVD、蝕刻等）用各種基座、靜電吸盤、均熱板、真空吸盤、加熱器
虛擬晶圓
目標(biāo)
化合物半導(dǎo)體制造設(shè)備零部件
?熱伝導(dǎo)?熱放射率が大きく、均熱性が高い。?熱衝撃に強(qiáng)く、急熱?急冷に耐える。?Si にマッチした低熱膨張で、溫度変化によるウェーハの変形を防ぎ、また、デポ膜の剝離によるパーティクル発生を低減する。?フッ素系ガス耐食性に優(yōu)れる。
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