目錄:上海首立實業(yè)有限公司>> CS-131SC-1濃度計
概要
CS-131是半導(dǎo)體制造中清洗工藝的SC-1溶液用于高精度藥液濃度的監(jiān)測儀，實現(xiàn)了過去所沒有的高速響應(yīng)性和小巧化?？梢猿r間的監(jiān)測微粒以及有機物的清除作業(yè)中所使用的SC-1溶液(NH3/H2O2/H2O)各成分濃度。通過使用監(jiān)測輸出的回收控制，可以確保SC-1溶液的濃度在允許范圍內(nèi)，同時，還可以避免不必要的更換藥液工作。并且，冷卻器一體型也進入了產(chǎn)品陣容內(nèi)，可適用較大范圍的樣品溫度。
特點
監(jiān)測周期大約為2秒，支持300mm工藝的濃度管理
實現(xiàn)了以大約2秒為監(jiān)測周期(※)的高速響應(yīng)。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。(※不包含藥液的置換時間、冷卻時間)
小巧化設(shè)計有利于節(jié)省清洗裝置的空間
由于底面面積只有原來的2/3(※)左右，這種小巧化設(shè)計有利于清洗裝置節(jié)省空間?？梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。
(※和本公司產(chǎn)品CS-220系列進行比較)
通過減少清洗工藝中的批次不良，提高產(chǎn)量
通過濃度計的信號輸出，進行SC-1溶液的補給控制，從而實現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進產(chǎn)量的全面提高。
全自動監(jiān)測與簡易控制
用戶只需引入SC-1溶液即可。監(jiān)測是全自動方式，因此開始監(jiān)測后不需要進行任何控制。另外，由于參照光譜測量時使用的是空氣，所以不需要用水。
通過采取全面的氣泡對策，可監(jiān)測高溫樣品
在脫泡槽中分離氣泡，在監(jiān)測過程中進一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測單元內(nèi)的發(fā)生次數(shù)抑制在zui低限度。并且，如果是冷卻器一體型產(chǎn)品，則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計。溫度補償將自動進行。
采用DC24V，實現(xiàn)高安全性
電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且，由于內(nèi)置漏水傳感器，在發(fā)生漏水時可以切斷SC-1溶液的供應(yīng)等，采取緊急措施。
SC-1濃度計
CS-131
技術(shù)規(guī)格
型號和規(guī)格 | CS-131：無冷卻器 |
監(jiān)測對象 | SC-1(氨/過氧化氫水溶液) |
測量原理 | 吸收光譜測定法 |
濃度計算的原理 | 溫度補償型多變量解析法 |
監(jiān)測范圍 | 氨：0.00〜1.00% / 0.00〜3.00% / 0.00〜5.00% |
再現(xiàn)性 | 氨： ±0.15% / ±0.2% / ±0.25% |
藥液條件 溫度 | CS-131：20〜30℃ |
藥液條件 流量 | CS-131：20〜60mL/min |
藥液條件 壓力 | 0.10〜0.20MPa |
監(jiān)測周期 | zui小約2秒(不包含藥液的置換時間・冷卻時間) |
設(shè)置溫度 | 20〜25℃ |
操作面板 | 1)溫度檢測值的顯示：氨、過氧化氫、水 |
串行輸入 | RS-232C |
并行輸入 | DC12〜30V(光電耦合器絕緣) |
并行輸出 | 開路集電極輸出為ON 時的zui大電流：5mA、為OFF時的zui大電壓：30V |
模擬輸出 | 4〜20mA(2輸出：NH3濃度、H2O2濃度的2輸出) |
電源 | DC24V±10%， 2A |
外形尺寸 | CS-131：205(W)×329(D)×269(H)mm |
質(zhì)量 | CS-131：約11kg |
連接配管尺寸 | 導(dǎo)入用、排出用外徑均為3mm(內(nèi)徑均為2mm) |
配管接頭 | Nippon Pillar Super型 |
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