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日立掃描電子顯微鏡
SU8600
高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列
*設備照片包含選配項。
SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質量圖像、大束流分析及長時間穩(wěn)定運行的冷場成像技術，同時還提升了高通量、自動數(shù)據(jù)獲取能力。
特點
*高分辨成像
日立的高亮度電子源可保證了即使在低著陸電壓下，也可獲得高分辨的圖像。
高襯度的低加速電壓背散射圖像
3D NAND截面觀察;
在低加速電壓條件下，背散射電子信號能夠顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。
快速BSE圖像：新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*
由于使用了新型的OCD探測器，即使掃描時間不到1秒，也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結構圖像.
自動化功能*
EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊，如設置放大倍率、移動樣品位置、調節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽，將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經過調試和確認后，該程序便可以在每次調用時自動獲得高質量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。
靈活的用戶界面
原生支持雙顯示器，提供靈活、高效的操作空間。6通道同時顯示與保存，實現(xiàn)快速的多信號觀測與采集。
日立掃描電子顯微鏡
技術參數(shù)
機型 | SU8600 系列 | |
電子光學系統(tǒng) | 二次電子像分辨率 | 0.6 nm@15 kV |
0.7 nm@1 kV * | ||
放大倍率 | 20 to 2,000,000 x | |
電子槍 | 冷場發(fā)射電子源，支持柔性閃爍功能，包含陽極烘烤系統(tǒng)。 | |
加速電壓 | 0.5 to 30 kV | |
著陸電壓 * | 0.01 to 20 kV | |
探測器 | （部分為選配項） | 上探測器(UD) |
UD ExB能量過濾器，包含SE/BSE信號混合功能 | ||
下探測器(LD) | ||
頂探測器(TD) | ||
TD能量過濾器 | ||
鏡筒內背散射電子探測器(IMD) | ||
半導體式背散射電子探測器 (PD-BSED) | ||
新型閃爍體式背散射電子探測器(OCD) | ||
陰極熒光探測器(CLD) | ||
掃描透射探測器(STEM Detector) | ||
附件 | （部分為選配項） | 導航相機、樣品室相機、X射線能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測器(EBSD) |
軟件 | （部分為選配項） | EM Flow Creater、HD Capture( 40,960×30,720 像素以下） |
樣品臺 | 馬達驅動軸 | 5軸馬達驅動（X/Y/R/Z/T） |
馬達驅動軸 | X：0~110 mm | |
Y：0~110 mm | ||
Z：1.5~40 mm | ||
T：-5~70° | ||
R：360° | ||
樣品室 | 樣品尺寸 | 直徑可達：150 mm |
*減速模式下
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