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Canon FPA3000 EX4步進式光刻機

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地深圳市

更新時間：2024-10-22 16:28:46瀏覽次數(shù)：190次

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CanonFPA3000EX41

Canon FPA3000 EX4

1.Canon FPA3000 EX4步進式光刻機

光源波長248nm

分辨率優(yōu)于0.25µm

主要用于主要用于4寸、6寸、8寸生產(chǎn)線

廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域

2.產(chǎn)品詳情

主要技術(shù)指標

分辨率0.25µm

N.A.0.4~0.6

曝光光源248nm

倍率5:1

曝光現(xiàn)場22mm*22 mm

對準精度60nm

3.更多服務(wù)

提供中英文軟件及4"、6"、8" 設(shè)備硅片改造

常年提供所有備件、耗材


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