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Nikon EX12B步進式光刻機

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地深圳市

更新時間：2024-10-22 16:31:00瀏覽次數(shù)：140次

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NikonEX12B1

Nikon EX12B

1.Nikon EX12B步進式光刻機

光源波長248nm

分辨率優(yōu)于0.3µm

主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線

廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域

2.產(chǎn)品詳情

主要技術(shù)指標(biāo)

分辨率0.3µm

N.A.0.55

曝光光源248nm

倍率5:1

曝光現(xiàn)場22mm*22mm

對準(zhǔn)精度

LSA：55nm

FIA：65nm

3.更多服務(wù)

提供中英文軟件及2"、4"、6"、8"設(shè)備硅片改造

常年提供所有備件、耗材



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