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研啟科學儀器（東莞）有限公司
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Nikon EX14C步進式光刻機

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地深圳市

更新時間：2024-10-22 16:31:05瀏覽次數(shù)：109次

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NikonEX14C1

Nikon EX14C

1.Nikon EX14C步進式光刻機

光源波長248nm

分辨率優(yōu)于0.25µm

主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線

廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域

2.產(chǎn)品詳情

主要技術指標

分辨率0.25µm

N.A.0.6

曝光光源248nm

倍率5:1

曝光現(xiàn)場22mm*22mm

對準精度

LSA：55nm

FIA：65nm

3.更多服務

提供中英文軟件及2"、4"、6"、8"設備硅片改造

常年提供所有備件、耗材



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