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一、產(chǎn)品介紹：

CIF推出全新一代實(shí)驗(yàn)室型等離子體清洗設(shè)備，傳統(tǒng)等離子體清洗設(shè)備設(shè)計(jì)理念，可中試生產(chǎn)、模擬生產(chǎn)條件，幾乎具備等離子體清洗設(shè)備所有的功能。采用頂置真空倉，上開蓋下壓式鉸鏈開關(guān)方式，上置式360度自由取放樣品托盤設(shè)計(jì)，具有較大的腔體尺寸和有效樣品處理面積，使用成本低，性價(jià)比高，處理快速高效，特別適合于大學(xué)，科研院所和光電企業(yè)實(shí)驗(yàn)室小批量中試生產(chǎn)。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

u 7寸彩色觸摸屏互動(dòng)操作界面，圖形化用戶操作界面顯示，自動(dòng)監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20個(gè)配方程序，可存儲、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù)，機(jī)器運(yùn)行、停止提示。

u PLC工控機(jī)控制整個(gè)清洗過程，手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。

u 石英真空倉，真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無污染。

u 采用質(zhì)量流量計(jì)實(shí)現(xiàn)對氣體輸入精準(zhǔn)控制，改變傳統(tǒng)浮子流量計(jì)控制氣體流量不準(zhǔn)確問題。

u HEPA高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

u 60度傾角操作界面設(shè)計(jì)，符合人體功能學(xué)，操作方便，界面友好。

u 頂置真空倉，上開蓋設(shè)計(jì)，下壓式鉸鏈開關(guān)方式，開關(guān)蓋方便。

u 采用花灑式多孔進(jìn)氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問題。

u 上置式360度自由水平取放樣品托盤設(shè)計(jì)，符合人體功能學(xué)，操作更方便。

u 有效清洗面積大，可清洗直徑8寸硅片。

u 可處理不同幾何形狀、表面不同粗糙程度的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等樣品，進(jìn)行清洗和改性。

u 安全保護(hù)，倉門打開，自動(dòng)關(guān)閉電源。

三、技術(shù)參數(shù)

型號	CPC-G	CPC-G plus	CPC-12	CPC-12plus
艙體尺寸	H120xΦ270mm	H120xΦ270mm	H120xΦ370mm	H120xΦ370mm
艙體容積	6.8L	6.8L	12.8L	12.8L
射頻電源	40KHz	13.56MHz	40KHz	13.56MHz
匹配器	自動(dòng)匹配	自動(dòng)匹配	自動(dòng)匹配	自動(dòng)匹配
激發(fā)方式	電容式	電容式	電容式	電容式
射頻功率	10-300W可調(diào)	10-150W可調(diào)	10-600W可調(diào)	10-300W可調(diào)
處理尺寸	Φ270mm 圓盤		Φ370mm圓盤
產(chǎn)品尺寸	L525xW425xH345mm		L618xW520xH465mm
包裝尺寸	L645xW540xH560mm		L750xW640xH570mm
氣體控制	質(zhì)量流量計(jì)（MFC）（標(biāo)配單路，可選雙路）
時(shí)間設(shè)定	1-99分59秒
真空泵	抽速4-8m3/h
氣體穩(wěn)定時(shí)間	1分鐘
真空度	100pa以內(nèi)
電源	AC220V 50-60Hz