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一、產(chǎn)品介紹：

CIF推出的CPC系列生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)是為研發(fā)型客戶和工業(yè)級(jí)客戶而設(shè)計(jì)的等離子體表面處理設(shè)備，配置豐富，且真空腔體里可分層，適合大多數(shù)生產(chǎn)場(chǎng)景。適用于等離子清洗，活化以及刻蝕等多種應(yīng)用，設(shè)備可在嚴(yán)苛環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行，產(chǎn)品性能穩(wěn)定，樣品處理重復(fù)性、一致性好。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)：

u 7寸彩色觸摸屏互動(dòng)操作界面，圖形化用戶操作界面顯示，自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)，0~99個(gè)配方程序，可存儲(chǔ)、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù)，機(jī)器運(yùn)行、停止提示。

u PLC工控機(jī)控制整個(gè)清洗過(guò)程，手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。

u 采用質(zhì)量流量計(jì)，氣體流量控制更準(zhǔn)確。標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng)，可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)，氣體分配均勻?？奢斎?/span>氧氣、氬氣、氮?dú)?、四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。

u 采用花灑式多孔進(jìn)氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問(wèn)題。

u HEPA高效過(guò)濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

u 316不銹鋼真空倉(cāng)，潔凈無(wú)污染。

u 全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì)。

u 處理高效均勻，效率高，工藝重復(fù)性好。

u 合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，設(shè)備占用空間小。

u 可處理各種材質(zhì)、形狀、尺寸樣品。

u 樣品處理溫度低，無(wú)熱損傷和熱氧化。

u 使用成本低、耗損小。

u 產(chǎn)品性能穩(wěn)定，安裝與維護(hù)，簡(jiǎn)便方便。

u 安全保護(hù)，倉(cāng)門打開，自動(dòng)關(guān)閉電源。

三、技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	CPC15	CPC35	CPC80	CPC120	CPC150
艙體尺寸	W240xH240xD260mm	W320xH320xD350mm	W420xH400xD500mm	W500xH500xD450mm	W500xH500xD600mm
艙體容積	15L	35L	80L	120L	150L
有效尺寸	W210xD245mm	W300xD335mm	W400xD490mm	W500xxD440mm	W500xxD590mm
電極分布	2層	3-4層	6層	8-10層	10-15層
射頻電源	13.56MHz， 0-300W	13.56MHz， 0-300W	13.56MHz，0-600W	13.56MHz，0-1000W	13.56MHz，0-1000W
匹配器	自動(dòng)匹配器
激發(fā)方式	電容式
電流	1.2A
時(shí)間設(shè)定	1-99分59秒
氣體穩(wěn)定時(shí)間	1分鐘
真空度	100pa以內(nèi)
控制系統(tǒng)	7寸PLC觸摸屏控制
工藝氣體	2氣路 MFC（可選裝3路）
真空泵	抽速約8m3/h	抽速16m3/h	抽速40m3/h	抽速60m3/h	抽速約60m3/h
電源	AC220V 50-60Hz	AC220V 50-60Hz	AC380V 50-60Hz	AC380V 50-60Hz	AC380V 50-60Hz