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原裝供應(yīng)Osaka Vacuum大阪真空磁浮軸承式復(fù)合分子泵TG1300M
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■ 靈活的安裝姿勢 ■ 緊湊的尺寸 ■ 節(jié)能 ■ 快速啟動和停止 ■ 維修電話 ■ 低振動 ■ 免調(diào)音 ■ 自動校準(zhǔn) ■ 轉(zhuǎn)速控制 ■ 大流量排氣 ■ 各種通信規(guī)格 ■符合安全標(biāo)準(zhǔn) NRTL/SEMI-S2/CE ?半導(dǎo)體制造 ?電子槍排氣、離子源排氣 ?FPD 制造 ?表面處理、表面改性 ?各種電子元件的制造 ?分析、檢測設(shè)備 ?管材、光學(xué)元件的制造 ?加速器、放射線設(shè)施、聚變研究 ?熱處理 ?研發(fā)
| 進氣法蘭 | VG200 CF200 ISO-B200 型 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 1300 |
| N2（帶保護網(wǎng)） （升/秒） | 1230 | |
| H2 （升/秒） | 1200 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 1,5×10%4 | |
| 極限壓力 | VG/ISO-B/CF （帕） | <1×10-6 / <1×10-7 |
| VG?ISO-B/CF （托） | <7.5×10-9 / <7.5×10-10 | |
| 最大氣體流速※1 | N2 （SCCM） | 3000 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 4~5 |
| 停機時間 | （分鐘） | 4~5 |
| 允許的輔助壓力 | （Pa / Torr） | 500 / 3.8 |
| 推薦的輔助泵 | （升/分鐘） | ≧250 |
| 安裝姿勢 | 自由 | |
| 重量 （kg） VG/ISO-B/CF | 34 / 42 | |
| 控制器類型 | TC010MA | |
| 特殊規(guī)格 | -化學(xué)型 - 對應(yīng)反應(yīng)產(chǎn)物 TG-MI - 超低振動規(guī)格 TG-ML - 超高真空型 TG-MU - 耐輻射型 TG-MR | |
