善時掃描電子顯微鏡SS-60系列
SS-60 系列產品作為基礎款臺式掃描電鏡,能滿足大部分用戶的基本實驗需求,配置 SE 二次電子探測器與 BSE 背散射電子探測器,載物平臺可配置三軸(X,Y,R)手動平臺,也可升級為五軸(X,Y,R,Z,T)自動平臺,全系列產品均可配置 EDS 能譜分析儀。
掃描電子顯微鏡已廣泛用于材料科學(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、冶金、生物學、醫(yī)學、半導體材料與器件、地質勘探、病蟲害的防治、災害(火災、失效分析)鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產中的產品質量鑒定及生產工藝控制等。
自動/手動掃描電鏡
掃描電鏡SS-60系列是一種用于放大并觀察物體表面結構的電子光學儀器。產品結構設計簡潔,高低壓真空設計,可調試電壓,為不同樣品提供更合適的檢測環(huán)境。
概況
掃描電子顯微鏡的英文全稱為Scanning Electron Microscope,簡稱掃描電鏡或者SEM。掃描電鏡是一種用于放大并觀察物體表面結構的電子光學儀器。掃描電鏡由鏡筒、電子信號的收集和處理系統(tǒng)、電子信號的顯示和記錄系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)等組成,具有放大倍數可調范圍寬、圖像分辨率高和景深大等特點。
軟件特性
臺式電鏡,體形小巧,占用空間??;
強大的軟件功能,單窗口操作界面讓用戶操作方便簡單;
軟件實現(xiàn)檢測圖形實時存儲;
產品結構設計簡潔,易于維護及保養(yǎng);
自動平臺采用中心定位模式,迅速定位待測樣品;
高低壓真空設計,可調試電壓,為不同樣品提供更合適的檢測環(huán)境
產品說明:
(1 )放大倍率是6萬倍;
(2 )采用二次電子和背散射電子兩種探測器;
(3)加速電壓有1KV、5KV、10KV、15KV、20KV、30KV可選,圖像分辨率高;
(4 )通過選配EDS可進行元素成份分析;
(5 )選配冷卻臺可在無前置處理的情況下對水分進行采樣分析;
(6 )高/低真空的配置可縮短前處理過程;
(7 )選配CCD攝像頭可實時觀察載物臺內部;
產品說明:
(1)放大倍率6萬倍(Magnification Max 60,000 X);
(2)采用二次電子和背散射電子雙重探測器(Signal Detection: SE Detector+BSE Detector);
(3)5kV~30kV加速電壓選擇,圖像分辨率高(Accelerating Voltage:1kV to 30kV,High image resolution);
(4)通過選配EDS可進行元素成份分析(EDS is optional, for component analysis);
(5)Tilt(0~90)載物臺配置(可選擇)(Tilt Stage configuration( optional))。
產品特性:
(1)臺式掃描電子顯微鏡,體型小巧,占用空間??;
(2)強大的軟件功能,單窗口操作界面,讓用戶操作方便簡單;
(3)軟件實現(xiàn)檢測圖形實時存儲;
(4)掃描電子顯微鏡產品結構設計簡潔,易于維護及保養(yǎng);
(5)自動平臺采用中心定位模式,迅速定位待測樣品。
善時掃描電子顯微鏡SS-60系列技術參數:
分辨率
15nm (30kV, SE Image)
20nm (30kV, BSE Image)
放大倍率
30~60,000 X
加速電壓
5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5step)
圖像檢測
二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image
背散射電子圖像(BSE)-Backscattered Electron Image
* Multi Detector (SE+BSE)
觀察模式
Standard Mode
Charge-up reduction mode
電子槍系統(tǒng)
燈絲類型
預對中鎢燈絲
偏壓系統(tǒng)
自動偏壓方式
電子槍校正
手動方式
透鏡構成
聚光鏡
2段式磁線圈透鏡
物鏡
1段式磁線圈透鏡
探測器類型
SE Detector/ BSE Detector
載物臺系統(tǒng)
自動或者手動
載物臺移動
3軸(X,Y,R)或5軸(X,Y,R,Z,T)
圖像偏移
Image shift X, Y Image Shift (±150μm)
樣品尺寸
高度40mm時直徑70mm
圖像掃描
快速掃描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)
低速掃描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)
圖片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)
圖片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)
圖片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)
自動功能
自動啟動,自動聚焦,自動亮度對比度調節(jié)
圖像存儲格式
BMP, JPEG, PNG,TIFF
數據顯示
放大倍率,探測器類型,電壓,真空模式,Logo(Text),Date and time,Text marker,比例尺等
真空系統(tǒng)
高真空模式
(旋轉式機械泵)Rotary Pump/100Liters/min
(渦輪式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec
抽真空時間:3分鐘以內
操控系統(tǒng)
鼠標和鍵盤
PC:臺式電腦(Desk Top)
軟件
圖像文件打開,編輯,存儲功能長度,面積,角度等測量功能,設置數初始化,圖像拍攝模式轉換,Archives, Setting(EDS)模式等
體積
設備主機-410(W)×660(D)×600(H)mm
外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm
重量
95kg
設備環(huán)境
溫度:15℃~30℃
濕度:70% or less
電源:Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz
預對中鎢燈絲Pre Centered tungsten filament 5 pcs/box
載物臺(Sample Stage)
高度基準模塊(Height standardmaster) 1ea