美國(guó)axometrics艾克松- 穆勒矩陣AR/VR光學(xué)量測(cè)系統(tǒng)
日本FLUORO福樂真空吸筆專為晶圓轉(zhuǎn)移搬運(yùn)設(shè)計(jì),具有以下核心特性:
一、產(chǎn)品概述
?專業(yè)適配性?:專用于半導(dǎo)體晶圓的無(wú)污染轉(zhuǎn)移,兼容硅晶圓等各類晶片及小型物體的吸附運(yùn)輸?14。
?模塊化設(shè)計(jì)?:可根據(jù)需求更換吸附頭(晶圓吸附頭、噴嘴或墊),適應(yīng)不同形狀和尺寸的運(yùn)輸對(duì)象?1。
二、設(shè)計(jì)特點(diǎn)
?材料性能?
?抗靜電系列?:采用傳導(dǎo)性尼龍筆身與傳導(dǎo)性PEEK吸頭,電阻率范圍為10?-10?Ω,有效消除靜電干擾,適用于5寸、6寸、8寸晶圓?56。
?防酸系列?:吸盤接頭使用鐵弗龍(Teflon)材質(zhì),耐化學(xué)腐蝕性強(qiáng),適用于酸蝕環(huán)境或精密器械維修?7。
?輕量化結(jié)構(gòu)?:整體重量輕(約0.04kg),便于長(zhǎng)時(shí)間操作且易于清潔?12。
?操作模式差異?
?F001?:按下按鈕吸氣,松開即釋放;適用需快速吸附的場(chǎng)景?13。
?F002?:按下釋放,松開吸附;耐高溫及化學(xué)腐蝕,適合復(fù)雜工況?12。
?C003?:抗靜電型,帶吸力切斷按鈕,可手動(dòng)控制吸附狀態(tài)?15。
三、應(yīng)用場(chǎng)景
?半導(dǎo)體制造?:用于晶圓的無(wú)損搬運(yùn),避免物理接觸污染?46。
?精密工業(yè)?:如鐘表、珠寶制造,需防靜電或耐腐蝕的精細(xì)化操作?7。
四、配套設(shè)備
需搭配無(wú)油隔膜真空泵及抗靜電真空管線(表面電阻率103-10?Ω/cm2),確保系統(tǒng)無(wú)靜電累積風(fēng)險(xiǎn)?48。
FLUORO福樂真空吸筆通過多樣化的型號(hào)與材料選擇,滿足半導(dǎo)體及精密制造業(yè)對(duì)潔凈度、安全性與操作效率的嚴(yán)苛需求。