電鏡應(yīng)用環(huán)境改善方案!
FEI(上海) 張毅 張承青
關(guān)鍵詞: 電磁干擾、消磁器、消磁器工作原理和性能測(cè)評(píng)
目錄
一.環(huán)境電磁干擾
二.低頻電磁干擾的改善途徑
三.主動(dòng)式消磁器的基本工作原理及適用范圍
四.主動(dòng)式消磁器性能改進(jìn)(雙線圈、雙探測(cè)器)
五.評(píng)測(cè)主動(dòng)式消磁器性能的主要指標(biāo)
六.主動(dòng)式消磁器性能測(cè)評(píng)
一.環(huán)境電磁干擾
自從人類發(fā)現(xiàn)了電磁應(yīng)用以來(lái),電磁能這種不能直接觀察到的物理現(xiàn)象正在日益深入我們生活的方方面面。電磁力給我們帶來(lái)許多便利,大大改善人們的工作和生活環(huán)境,但是在造福人類的同時(shí)也帶來(lái)許多麻煩和困擾。在我們工作和生活的周圍空間,處處都充斥著各種各樣的電磁波。有中低頻的電磁波,還有高頻和超高頻無(wú)線電波(其它如光波等電磁波這里就不討論了)。許多場(chǎng)合下,這些電磁波會(huì)產(chǎn)生相當(dāng)?shù)奈:Α?,對(duì)于裝有心臟起搏器的人來(lái)說(shuō),強(qiáng)電磁干擾很可能會(huì)奪去他們的生命。同樣,對(duì)于精密儀器和設(shè)備,電磁干擾也會(huì)使它們不能正常工作。
對(duì)于電子顯微鏡和電子束曝光這一類利用電子束在空間(往往是真空度很高的一個(gè)密閉的小區(qū)域)飛行及其衍生效應(yīng)來(lái)工作設(shè)備來(lái)說(shuō),低頻(0. 1 到 350 赫茲)電磁干擾往往是不可忽視的。然而人們發(fā)現(xiàn),相對(duì)于高頻電磁干擾,低頻電磁干擾是相當(dāng)難以屏蔽或消除的。
針對(duì)各種高頻電磁干擾,采用不同材料制作的屏蔽就可以有效解決問(wèn)題。對(duì)于低頻電磁干擾,除了制作低頻電磁屏蔽外,還有別的方法。
二.低頻電磁干擾的改善途徑
低頻電磁干擾的改善途徑有兩個(gè),一是利用高導(dǎo)磁材料針對(duì)低頻電磁干擾的磁場(chǎng)分量直接分流磁力線,使大部分磁力線被會(huì)聚到導(dǎo)磁材料(屏蔽體)內(nèi),被屏蔽的局部空間內(nèi)磁力線密度下降,低頻電磁干擾強(qiáng)度降低(請(qǐng)參考《低頻電磁屏蔽實(shí)踐(2014 修改稿)》一文,這里不再詳述);二是根據(jù)電磁波是矢量的基本物理性質(zhì),人為產(chǎn)生等幅反向的消磁磁場(chǎng),使得被三維消磁線圈(因?yàn)殡姶鸥蓴_是全方向三維的,所以消磁磁場(chǎng)也必須是三維的)包圍的局部空間內(nèi)合成磁場(chǎng)強(qiáng)度下降。顯然,這兩種方法的物理機(jī)理不同,實(shí)施手段不同,實(shí)際效果也有差異,應(yīng)根據(jù)具體情況選擇。
三.主動(dòng)式消磁器的基本工作原理及適用范圍
主動(dòng)式消磁器一般由三個(gè)部分構(gòu)成:三維探測(cè)器、三通道控制器和三個(gè)消磁線圈。三維探測(cè)器檢測(cè)空間磁場(chǎng)的三維立體場(chǎng)強(qiáng)及其變化(實(shí)際上只是三維探測(cè)器所在位置的一個(gè)很小區(qū)域);三通道控制器根據(jù)得到的信號(hào)進(jìn)行實(shí)時(shí) PID 跟蹤運(yùn)算,并輸出三路連續(xù)跟蹤的反相消磁電流;三個(gè)消磁線圈相互垂直安裝,將需要消磁的空間區(qū)域包含在其中,產(chǎn)生波形和幅度相同、相位相反的電磁場(chǎng)將原來(lái)的電磁干擾抵消。必須指出的是,由于受到基本工作原理的限制,主動(dòng)式消磁器的效果時(shí)常不盡如人意。從時(shí)域上來(lái)看,無(wú)論如何提高控制器的速度,也仍然存在時(shí)間差;從磁場(chǎng)傳輸原理來(lái)看,由于磁場(chǎng)強(qiáng)度與信號(hào)源(消磁線圈就是一個(gè)信號(hào)源)距離的平方成反比,反相消磁場(chǎng)強(qiáng)在三維消磁線圈所包圍的局部空間內(nèi)梯度變化很大,而環(huán)境場(chǎng)強(qiáng)的梯度往往是比較均勻的,故此,消磁后的合成磁場(chǎng)一般是不均勻的(參見(jiàn)圖一)。從圖一可以看見(jiàn),探測(cè)器所在的 a 點(diǎn)位置合成磁場(chǎng)zui小,離開(kāi) a 點(diǎn)位置越遠(yuǎn)消磁效果越差。也就是說(shuō),主動(dòng)式消磁器的實(shí)際效果往往遠(yuǎn)不如控制器自己顯示的那么好,實(shí)際有效空間也遠(yuǎn)小于三維消磁線圈所包圍的空間。
圖一. 環(huán)境磁場(chǎng)、反相消磁磁場(chǎng)(單線圈)和合成磁場(chǎng)
許多主動(dòng)式消磁器的有效范圍都不大于 1 米,有效范圍內(nèi)的消磁效果大多都不會(huì)好于 0.5mGauss,選用時(shí)必須注意。主動(dòng)式消磁器一般適用于超凈廠房、潔凈室內(nèi)或空間狹小等難以施工制作磁屏蔽的情況。另外由于低頻電磁屏蔽的固有物理特性,對(duì)準(zhǔn)直流(Near DC)磁場(chǎng)消磁效果不佳,所以在有準(zhǔn)直流磁場(chǎng)的電磁干擾時(shí),選用主動(dòng)式消磁器是目前*的選擇。安裝時(shí)對(duì)現(xiàn)場(chǎng)的要求不高,拆除和重新安裝都很方便,這是它的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)。
四.主動(dòng)式消磁器性能改進(jìn)(雙探測(cè)器、雙線圈)
由主動(dòng)式消磁器的基本工作原理可知,在反相消磁線圈的作用范圍內(nèi),其場(chǎng)強(qiáng)并不是均勻的。探測(cè)器所在位置消磁效果,逐漸遠(yuǎn)離探測(cè)器所在的位置時(shí),就會(huì)發(fā)現(xiàn)消磁效果逐漸變差,這種不均勻性是主動(dòng)式消磁器的固有弱點(diǎn)。主動(dòng)式消磁器的消磁效果以其探測(cè)器為中心向外遞減,其等強(qiáng)度面為球形,如圖二所示。
圖二. 單探測(cè)器消磁效果示意
由于大多數(shù)情況下需要消磁的區(qū)域?yàn)橐粋€(gè)垂直圓柱形,為改進(jìn)效果可以使用雙探測(cè)器,其效果可以用圖三表示。一般兩個(gè)探測(cè)器間距 0.5 米~1 米,距離過(guò)大效果反而變差,距離過(guò)小則效果等同單探測(cè)器。
圖三. 雙探測(cè)器消磁效果示意
實(shí)測(cè)時(shí)發(fā)現(xiàn),雙探測(cè)器對(duì)消磁效果的改善作用有限,而使用雙線圈對(duì)消磁效果的改善明顯。所謂雙線圈就是將原來(lái)單個(gè)消磁線圈擔(dān)負(fù)的工作由兩個(gè)相距足夠距離的同相線圈來(lái)完成,探測(cè)器盡量位于兩個(gè)線圈的中間。這樣一來(lái),在三個(gè)方向就一共有六個(gè)線圈,所以又稱為六線圈結(jié)構(gòu)。單線圈與雙線圈效果的差異可以從圖四和圖五清楚地看到。
圖四. 環(huán)境磁場(chǎng)、反相消磁磁場(chǎng)(雙線圈)和合成磁場(chǎng)
圖五. 單線圈和雙線圈效果比較
從圖五可以直觀地看到,雙線圈合成磁場(chǎng)曲線比單線圈要平坦得多,也就是說(shuō),有效范圍大,雙線圈的效果比單線圈要好得多。現(xiàn)在,各家廠商各種品牌普遍都有雙探測(cè)器、雙線圈(也稱為六線圈)的型號(hào)可以供應(yīng)。對(duì)于磁場(chǎng)超標(biāo)不多或者對(duì)于環(huán)境要求不高的場(chǎng)合,為降低費(fèi)用,大多選用只配備單探測(cè)器和單線圈(也稱為三線圈)的型號(hào)。對(duì)于磁場(chǎng)較多或者對(duì)于環(huán)境要求較高的場(chǎng)合,就應(yīng)該選用配備雙探測(cè)器、雙線圈(也稱為六線圈)的型號(hào)。對(duì)于*儀器的高標(biāo)準(zhǔn)要求,還是選用低頻電磁屏蔽更為穩(wěn)妥可靠(有準(zhǔn)直流磁場(chǎng)則再增配有消 Near DC 功能的主動(dòng)式消磁器補(bǔ)充)。
五.評(píng)測(cè)主動(dòng)式消磁器性能的主要指標(biāo)
評(píng)測(cè)主動(dòng)式消磁器性能主要應(yīng)有如下指標(biāo):
1.消磁能力
2.消磁范圍
3.現(xiàn)場(chǎng)調(diào)節(jié)的便利性
4.準(zhǔn)直流(Near DC)電磁干擾的消除性能
測(cè)評(píng)消磁能力時(shí)不能只看消磁器自己的顯示數(shù)值,這種數(shù)值往往與近旁的其它檢測(cè)儀器顯示數(shù)值相差甚遠(yuǎn)。究其原因,一是顯示的不是峰峰值(peak-peak)而是有效值;二是不排除部分廠商虛構(gòu)信息(如某國(guó)外品牌顯示消磁狀態(tài)的磁場(chǎng)強(qiáng)度是 0.00 毫高斯,前已述及,那是不可能的);三是顯示的數(shù)值只是探測(cè)器所在位置的磁場(chǎng)強(qiáng)度。我們知道,在逐漸離開(kāi)探測(cè)器所在的位置時(shí),消磁效果就隨之逐漸變差。一般探測(cè)器距離需要保護(hù)的區(qū)域距離大于 0.3 米,而消磁器的有效工作區(qū)域直徑不過(guò) 1 到 2 米。消磁能力還應(yīng)從兩方面去看:1)zui低場(chǎng)強(qiáng)。指無(wú)論環(huán)境磁場(chǎng)多么小,消磁器所能達(dá)到的zui低場(chǎng)強(qiáng)數(shù)值。例如同在 0.5 毫高斯的環(huán)境下,一臺(tái)消磁器可以達(dá)到0.2 毫高斯,而另一臺(tái)只能達(dá)到 0.3 毫高斯,當(dāng)然前者優(yōu)于后者。2)在一定環(huán)境
場(chǎng)強(qiáng)下可以達(dá)到的zui低數(shù)值。例如在 5 毫高斯的環(huán)境下,一臺(tái)消磁器可以達(dá)到 1 毫高斯,而另一臺(tái)只能達(dá)到 2 毫高斯,優(yōu)劣自現(xiàn)。消磁范圍是指在同樣條件下、相同場(chǎng)強(qiáng)的球面直徑范圍。例如同在 3 毫高斯的環(huán)境下,一臺(tái)消磁器的 0.8 毫高斯等強(qiáng)度球面直徑為 1 米,而另一臺(tái)能達(dá)到 2 米,說(shuō)明后者保護(hù)范圍比前者大。某些品牌或型號(hào)的消磁器控制器除了數(shù)值顯示外只有少數(shù)幾個(gè)按鈕開(kāi)關(guān),看上去自動(dòng)化程度很高,但在許多電磁環(huán)境復(fù)雜的場(chǎng)合就顯出調(diào)節(jié)范圍過(guò)小的弊端。在目前國(guó)內(nèi)的具體條件下,可以在現(xiàn)場(chǎng)手動(dòng)調(diào)節(jié)控制器有其現(xiàn)實(shí)的便利性。不少品牌或型號(hào)的消磁器具有消除準(zhǔn)直流(Near DC)電磁干擾的功能,雖然大多數(shù)情況下不需要此功能,但是在距離地鐵很近(200 米內(nèi))的地方,準(zhǔn)直流電磁干擾強(qiáng)度很大,這時(shí)是否具有 Near DC(部分品牌簡(jiǎn)稱為 DC)功能往往是決定性的。
六.主動(dòng)式消磁器性能測(cè)評(píng)
綜上所述,對(duì)一套主動(dòng)式消磁器性能進(jìn)行測(cè)評(píng)時(shí),應(yīng)準(zhǔn)備另外一臺(tái)測(cè)試儀器,在距離探測(cè)器不同距離的各個(gè)方向,等間距地測(cè)試全套數(shù)據(jù),如此才能正確判定其消磁能力和消磁范圍。在現(xiàn)場(chǎng)測(cè)評(píng)時(shí),應(yīng)檢測(cè)需要保護(hù)范圍內(nèi)的zui遠(yuǎn)點(diǎn),確保其數(shù)值在規(guī)定范圍內(nèi)。下面以兩個(gè)實(shí)例來(lái)具體說(shuō)明。
一.對(duì)于 FEI 公司的 NNS450 場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡而言,8 毫高斯(峰-峰值)的電磁環(huán)境大大超標(biāo)(標(biāo)準(zhǔn)是不大于 3 毫高斯)。安裝某品牌主動(dòng)式消磁器后,在電子槍、樣品室及二次電子探測(cè)器等位置,由另一套儀器測(cè)得場(chǎng)強(qiáng)均不大于2.5 毫高斯(峰-峰值)。故此,該消磁器滿足使用要求。
二.另一臺(tái) FEI 公司的 Tecnai F20 透射電子顯微鏡,從電子槍到樣品室、再到透射電子探測(cè)器約 2.2 米,直徑約 0.35 米的區(qū)域都需要電磁干擾(EMI)小于 0.8 毫高斯(水平方向)。安裝另一品牌主動(dòng)式消磁器后,由另一套儀器測(cè)得場(chǎng)強(qiáng)在樣品室處合格,但在電子槍附近達(dá)到 1.2 毫高斯(峰-峰值)。故此,該消磁器不能滿足使用要求。
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