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在分析被測濾膜上的殘留物顆粒時，濾膜上金屬顆粒的表面局部單個或多個位置呈現(xiàn)反光，普通明場掃描不能準確判斷顆粒的大小及數(shù)量。
金屬顆粒: 
偏光掃描解決在明場中單個金屬顆粒表面多個位置反光造成的數(shù)量統(tǒng)計不準確。
顯微鏡使用的光源，其出射光經(jīng)過線性偏振后再照射到濾膜表面。通過偏振光物理原理應用來識別、對比顆粒在不同偏振光下的圖片，而后鑒別出金屬和非金屬顆粒。
偏光掃描：2次掃描，過程全自動偏光，偏光掃描統(tǒng)計所有顆粒數(shù)量及測量尺寸，再明場掃描定性顆粒性質(zhì)（金屬or非金屬），減少誤判。
明場掃描：1次掃描，一個大金屬顆粒被分解成數(shù)個金屬顆粒及非金屬顆粒，尺寸和顆粒的數(shù)量。統(tǒng)計不準確。
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