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涂層測(cè)厚技術(shù)--β射線反向散射法
β射線反向散射法測(cè)厚是一種較精密的非破壞性測(cè)厚方法, 其工作原理是用放射性同位素(如率E-Pml47等)釋放出β射線,在射向被測(cè)試樣后, 一些進(jìn)入金屬的β射線被反射至探測(cè)器,被反射的β粒子的強(qiáng)度,是被測(cè)涂層種類和厚度的函數(shù),因此,從探測(cè)器測(cè)量由被測(cè)涂層反射的β射線強(qiáng)度, 即可測(cè)得被涂層的厚度,,該法特別適用于對(duì)各種貴金屬涂層的厚度測(cè)量; 也可測(cè)量金屬或非金屬基體上的薄層(2.5µm以下)的非金屬涂覆層,,由于β射線測(cè)厚儀本身只是一個(gè)測(cè)量β射線反射強(qiáng)度的比較儀器, 它的厚度值刻度是通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)樣品的定標(biāo)得出的,如果被測(cè)試樣與標(biāo)準(zhǔn)樣品的涂層成分、密度、基體種類以及表面曲率有差異時(shí), 則要根據(jù)下列公式修正厚度讀數(shù)值：
β射線儀測(cè)厚的操作方法可按儀器的使用說(shuō)明進(jìn)行, 因?yàn)闇y(cè)厚時(shí)使用了各種放射源, 對(duì)人的健康有害, 操作時(shí)必須嚴(yán)格按規(guī)定要求操作, 并注意防護(hù)措施。
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