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搞不定諾獎(jiǎng)?但可以搞定諾獎(jiǎng)的材料!——臺(tái)式高精度薄膜制備與加工系統(tǒng)

來源:QUANTUM量子科學(xué)儀器貿(mào)易(北京)有限公司   2020年09月29日 15:39  

    年度的諾貝爾獎(jiǎng)又要在十月揭曉了??v覽歷年的諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)我們不難發(fā)現(xiàn),很多新材料、新性質(zhì)的發(fā)現(xiàn)都給我們的科研生活留下了濃墨重彩的筆。

、諾獎(jiǎng)趣事

    要說得諾獎(jiǎng),更多得靠上天的眷顧,讓科學(xué)家有神奇的想法和創(chuàng)意去登上科學(xué)的。不過有位諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)得主的經(jīng)歷更是傳奇的離譜。你還記得那個(gè)磁懸浮青蛙的實(shí)驗(yàn)嗎?沒錯(cuò),憑借磁懸浮青蛙,安德烈·海姆獲得了2000年的搞笑諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng),并且他親自去參加了頒獎(jiǎng)儀式(可以自行了解,可不是每個(gè)人都敢去這個(gè)搞笑諾獎(jiǎng)的哦)。經(jīng)過這次另類獎(jiǎng)項(xiàng)的“洗禮”,他在稀奇古怪的道路上越走越遠(yuǎn),有次他偶然用膠帶粘出了單層的石墨——“石墨烯”。2010年他憑借制備出石墨烯并測(cè)量了石墨烯的物理性質(zhì)而獲得真正的諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。就這樣安德烈·海姆成為了擁有“雙料”諾獎(jiǎng)的“逗”科學(xué)家。石墨烯的發(fā)現(xiàn)也對(duì)物理學(xué)的發(fā)展起到了巨大的推動(dòng)作用。很多基本的物理理論在石墨烯中得到了驗(yàn)證、石墨烯的殊性質(zhì)促進(jìn)了新型器件的發(fā)展、受到石墨烯的啟發(fā)科學(xué)家制備出了更多種類的二維材料,可見石墨烯的發(fā)現(xiàn)意義非凡。雖然得諾獎(jiǎng)的人鳳毛麟角,對(duì)普通的科研工作者而言搞不定諾獎(jiǎng)是正常的,但是現(xiàn)在我們可以讓您輕松搞定諾獎(jiǎng)的材料。

二、石墨烯制備的進(jìn)方案

    從初的石墨剝離方法(膠帶粘貼)到化學(xué)氣相沉積方法(CVD),石墨烯的制備手段直備受關(guān)注。經(jīng)過十年的發(fā)展,CVD方法已成為*的有市場(chǎng)前景的石墨烯制備方案。英國Moorfield是家注于高質(zhì)量的薄膜生長與加工技術(shù)的研發(fā)公司,常年來與曼徹斯大學(xué)安德烈·海姆課題組等多個(gè)科研團(tuán)隊(duì)都有重要的合作,并為他們提供高性能的科研設(shè)備,其中臺(tái)式高性能CVD石墨烯/碳納米管快速制備系列—nanoCVD便是典型代表。與諾獎(jiǎng)團(tuán)隊(duì)的長期合作使得該系列產(chǎn)品在制備石墨烯等碳基納米材料方面具有不可比擬的勢(shì)。該系列產(chǎn)品操作簡便,生長條件控制準(zhǔn)確,生長迅速、制備出的樣品具有高質(zhì)量、高可重復(fù)性。30分鐘內(nèi)搞定高質(zhì)量石墨烯生長,nanoCVD可能是有的非??斓氖┥L設(shè)備!

    日前,Quantum Design 中國子公司與英國Moorfield公司正式合作,作為中國的du家代理和戰(zhàn)略合作伙伴,將為中國用戶提供高性能的設(shè)備與質(zhì)的服務(wù)。

臺(tái)式高性能CVD石墨烯快速制備系統(tǒng)—nanoCVD 8G

三、其他薄膜制備與加工手段的代表設(shè)備

    除了石墨烯制備設(shè)備,英國Moorfield公司還推出了系列高性能的薄膜制備與加工設(shè)備,例如磁控濺射、熱蒸發(fā)、等離子刻蝕、高精度熱處理等。

    臺(tái)式高質(zhì)量多功能薄膜磁控濺射系統(tǒng)— nanoPVD S10A是Moorfield傾力打造的款高度集成化、智能化的臺(tái)式磁控濺射系統(tǒng)。該系統(tǒng)雖然體積小巧,但是功能出色、配置齊全。nanoPVD S10A多可安裝3個(gè)水冷式濺射源,可實(shí)現(xiàn)高功率持續(xù)運(yùn)行,靶材尺寸與大型系統(tǒng)樣是行業(yè)通用尺寸。系統(tǒng)多可同時(shí)控制3路氣體,可以實(shí)現(xiàn)大型設(shè)備才有的共濺射和反應(yīng)濺射方案。劍橋大學(xué)、諾森比亞大學(xué)、帝國理工學(xué)院等用戶都對(duì)這款臺(tái)式設(shè)備給予了很高的評(píng)價(jià)。

臺(tái)式高質(zhì)量多功能薄膜磁控濺射系統(tǒng)—nanoPVD S10A

    臺(tái)式高質(zhì)量金屬\有機(jī)物熱蒸發(fā)系統(tǒng) - nanoPVD T15A是Moorfield推出的 nanoPVD系列中新的型號(hào),高腔體設(shè)計(jì)方案為熱蒸發(fā)而設(shè)計(jì),確保薄膜均勻度。系統(tǒng)可以配備低溫蒸發(fā)(LTE)和標(biāo)準(zhǔn)電阻蒸發(fā)源,分別用于沉積有機(jī)物和金屬薄膜。低熱容有機(jī)物蒸發(fā)源具有高精度的控制電源,可以準(zhǔn)確的控制蒸發(fā)條件,制備高質(zhì)量的有機(jī)物薄膜。金屬源采用盒式屏蔽模式,可以有效的減少交叉污染等問題。智能的控制系統(tǒng)和靈活的配置方案使PVD-T15A廣泛應(yīng)用于材料研究域。劍橋大學(xué)、巴斯大學(xué)、??巳髮W(xué)、倫敦瑪麗女王大學(xué)等都是該設(shè)備的用戶。

臺(tái)式高質(zhì)量金屬\有機(jī)物熱蒸發(fā)系統(tǒng) - nanoPVD T15A

    臺(tái)式超準(zhǔn)二維材料等離子軟刻蝕系統(tǒng)—nanoETCH是與曼徹斯大學(xué)諾獎(jiǎng)得主Andre Geim課題組聯(lián)合研發(fā)的可用于二維材料高精度刻蝕的等離子軟刻蝕系統(tǒng)。與傳統(tǒng)的刻蝕方案相比,nanoETCH在石墨烯和2D材料的關(guān)鍵加工中表現(xiàn)出了很高的性能。該系統(tǒng)對(duì)輸出功率的分辨率可到達(dá)毫瓦量,可實(shí)現(xiàn)對(duì)二維材料的超準(zhǔn)逐層刻蝕,也可實(shí)現(xiàn)對(duì)二維材料進(jìn)行層內(nèi)缺陷制造,還可對(duì)石墨等基材進(jìn)行表面處理。該系統(tǒng)性能已經(jīng)在劍橋大學(xué)石墨烯中心、曼徹斯大學(xué)、英國國家石墨烯中心、西班牙光子科學(xué)研究所等諸多用戶實(shí)驗(yàn)室得到驗(yàn)證。

臺(tái)式超準(zhǔn)二維材料等離子軟刻蝕系統(tǒng)—nanoETCH

    臺(tái)式氣氛\壓力控制高溫退火系統(tǒng)—ANNEAL可用于二維材料以及襯底在定氛圍中的高精度熱處理,也可用于其他有高精度熱處理要求的方向。英國Moorfield 公司將樣品、襯底等材料的熱處理上升到與納米材料的制備同樣的技術(shù)高度。通過準(zhǔn)確的真空度與氣氛控制以及高精度的溫度控制使樣品的熱處理過程變得和樣品的制備過程樣高度可控。西班牙光子科學(xué)研究所、英國國家物理實(shí)驗(yàn)室、曼徹斯大學(xué)等用戶對(duì)該設(shè)備的性能贊譽(yù)有加。

臺(tái)式氣氛\壓力控制高溫退火系統(tǒng)—ANNEAL

    多功能高磁控濺射噴金儀—nanoEM是為SEM、TEM樣品的表面導(dǎo)電處理以及普通樣品的高質(zhì)量電生長而設(shè)計(jì)的金屬濺射系統(tǒng)。系統(tǒng)可配備SEM樣品托、TEM樣品網(wǎng)、普通薄膜樣品等多種樣品臺(tái)。雖然該系統(tǒng)主要為濺射導(dǎo)電金屬而設(shè)計(jì),但是該設(shè)備的性能已經(jīng)達(dá)到了高質(zhì)量薄膜樣品的制備標(biāo)準(zhǔn)。通過選擇不同的配置可以兼顧樣品的表面導(dǎo)電處理、電制備與學(xué)術(shù)研究型薄膜樣品的制備。

多功能高磁控濺射噴金儀—nanoEM

四、落戶中國

    在正式向中國客戶提供設(shè)備和服務(wù)的短短數(shù)月時(shí)間內(nèi)我們便收到了諸多咨詢,設(shè)備的性能更是受到了國內(nèi)諸多單位的認(rèn)可。目前*套臺(tái)式高質(zhì)量多功能薄膜磁控濺射系統(tǒng) - nanoPVD S10A訂單已落戶寧波大學(xué)。*套臺(tái)式超準(zhǔn)二維材料等離子軟刻蝕系統(tǒng)—nanoETCH即將在中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所安裝。我們希望更多的臺(tái)式高精度薄膜制備與加工系統(tǒng)能夠落戶中國,讓國內(nèi)的科研工作者制備出更好的樣品!

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