FSM413紅外激光測厚儀的相關知識普及

來源：岱美儀器技術服務（上海）有限公司 2020年11月05日 09:03

　　FSM413紅外激光測厚儀是一款廣泛應用于晶圓厚度測量的先進儀器。它采用紅外干涉（非接觸式）的測量方式。這種測量方式使得儀器能夠精確測量各種材料的厚度，特別是那些對紅外線透明的材料。此外，該儀器還可以測量有圖形、有膠帶、凸起或者鍵合在載體上的晶圓的襯底厚度。

　　FSM413紅外激光測厚儀產(chǎn)品簡介：

　　1、利紅外干涉測量技術，非接觸式測量。

　　2、適用于所有可讓紅外線通過的材料硅、藍寶石、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、玻璃、石英、聚合物…

　　FSM413紅外激光測厚儀規(guī)格：

　　1、測量方式：紅外干涉(非接觸式)。

　　2、樣本尺寸：50、75、100、200、300mm，也可以訂做客戶需要的產(chǎn)品尺寸。

　　3、測量厚度：15—780μm（單探頭）；3mm (雙探頭總厚度測量)。

　　4、掃瞄方式：半自動及全自動型號；另2D/3D掃瞄(Mapping)可選。

　　5、襯底厚度測量：TTV、平均值、小值、大值、公差。

　　6、粗糙度：20—1000Å（RMS）。

　　7、重復性：0.1μm（1 sigma）單探頭*；0.8μm（1 sigma）雙探頭*。

　　8、分辨率：10nm。

　　9、設備尺寸：413-200: 26”(W) x 38” (D) x 56” (H)；413-300: 32”(W) x 46” (D) x 66” (H) 。

　　10、重量：500 lbs。

　　11、電源：110V/220VAC。

　　12、真空：100 mm Hg。

　　13、樣本表面光滑（一般粗糙度小于0.1μm RMS）；150μm厚硅片（沒圖案、雙面拋光并沒有摻雜）。

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