欧美……一区二区三区,欧美日韩亚洲另类视频,亚洲国产欧美日韩中字,日本一区二区三区dvd视频在线

產(chǎn)品推薦:氣相|液相|光譜|質(zhì)譜|電化學|元素分析|水分測定儀|樣品前處理|試驗機|培養(yǎng)箱


化工儀器網(wǎng)>技術(shù)中心>解決方案>正文

歡迎聯(lián)系我

有什么可以幫您? 在線咨詢

MC方案|全新升級——旋轉(zhuǎn)噴淋式顯影方案

來源:邁可諾技術(shù)有限公司   2020年11月12日 14:58  

EDC濕法顯影刻蝕系統(tǒng)

 

光刻膠顯影(KrF/ArF)

SU8厚膠顯影

顯影后清洗

PostCMP清洗

光刻膠去除

金屬Lift-off處理

刻蝕微刻蝕處理

新一代的旋轉(zhuǎn)噴淋式濕法處理機臺,不僅jinque控制試劑注射,還能夠大大節(jié)約試劑,綠色環(huán)保的濕法處理方案。 

頂蓋閥門控制技術(shù) 

顯影液注射頭的位置

我們采用dujia的VoD頂蓋閥門控制技術(shù),確保在基片中心位置垂直向下噴射,確保樣片表面的試劑受力均勻性。

 

VS 其他廠商提供的噴射裝置參考如下圖,是從圓弧頂蓋的不同角度傾斜噴射時,樣片收集到的試劑量不均勻,接觸面受力也不均勻,導致樣片表面顯影的時間不一致,出現(xiàn)不均勻,有些區(qū)域顯影不夠充分,有些區(qū)域過度顯影。

 

噴射角度jinque控制

 我們的噴嘴可隨壓力大小調(diào)節(jié)噴射角度大?。ㄓ芯唧w的角度值對應(yīng)關(guān)系)。

 

如上圖所示,我方采用的是高jinque控制壓力噴嘴,噴射的扇形角度可以隨壓力和流速予以jinque調(diào)節(jié)。可以根據(jù)樣片的尺寸大小來調(diào)節(jié)噴射扇形面積,避免扇形過大,浪費試劑。 

VS 其他國內(nèi)廠商采用的是普通噴頭,無法有效jinque地通過改變壓力調(diào)節(jié)噴射扇形角度。

 

干進干出

如何做到樣片的“干進干出”避免樣品在顯影完后,被腔體內(nèi)的殘液二次污染,非常重要。系統(tǒng)除了顯影以外還需要配備樣品沖洗甩干功能,吹氮功能,腔體內(nèi)壁和頂蓋清洗清洗,樣品背面清洗功能。 

 

以上功能需確保試劑或者去離子水注射開關(guān)jinque控制,無殘留無滴漏。

VS國內(nèi)廠商目前還不具備氣動控制技術(shù)和旋轉(zhuǎn)噴淋后的清洗處理經(jīng)驗。

 

高效的廢液處理方案 

優(yōu)化過程控制,減少化學品和消耗品額度使用量。

 

智能程控,操作方便

配套觸屏控制的SPIN3000軟件,所見即所得。

 可視化操作,該軟件具有方便的數(shù)據(jù)存儲,導入導出,數(shù)據(jù)模擬和實施記錄功能。

 

 VS 許多國內(nèi)廠商采用的是PLC程序菜單。

 

配備藍牙無線連接

為確保濕法處理的安全性,配備藍牙無線連接。

VS 國內(nèi)廠商采用的是以太網(wǎng)串口通訊連接。

基片和托盤

正確的托盤可確保您的基片在處理過程中的穩(wěn)固。

 卡式鏤空托盤是以小接觸面來固定基片,可對基片的下方實現(xiàn)背面沖洗(BSR)。

安全可靠

經(jīng)標準獨立測試

已通過Intertek®測試,Intertek®是一家獨立性認證測試機構(gòu)。

聯(lián)鎖裝置 

當蓋子打開時聯(lián)鎖可防止旋轉(zhuǎn),控制軟件可以根據(jù)傳感器信息設(shè)置中止和警報狀態(tài)。相互獨立的閥門設(shè)置可防止混合不溶的化學試劑。

 定制濕站

裝載和操作一體化,完整高效的濕法處理方案。 

 

免責聲明

  • 凡本網(wǎng)注明“來源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,并注明“來源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責任。
  • 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時,必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負版權(quán)等法律責任。
  • 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
企業(yè)未開通此功能
詳詢客服 : 0571-87858618
中文国产在线观看者av| 国产精品一区二区三区四区久久| 国产乱轮精品一区二区| 综合欧美一区二区三区| 日韩精品丝袜人妻第一页| 少妇被粗大的猛烈进出痛哭| 久久精品一区二区国产| 自拍欧美国产日韩精品| 97文字幕巨乱亚洲香蕉| 亚洲精品av在线观看| 国产精品视频亚洲一区| 中国少妇和黑人做爰视频| 少妇被粗大的猛烈进出痛哭| 欧美国产成人在线观看| 91香蕉亚洲精品一区二区| 中文字幕秘一区二区人妻| 凌辱人妻中文字幕一区| 欧美操比视频在线观看| 亚洲熟女av一区二区三区| 激情内射精品一区二区| 亚洲av精选一区二区三区| 欧美卡一卡二区在线播放| 中文字幕亚洲日本久久| 久久精品伊人少妇熟女| 亚洲日本国产欧美一区| 精品三级中文字幕高清一区| 人妻夜夜爽精品波多野| 九九九久久久午夜精品| 欧美日本亚洲视频一区| 精品国产午夜福利精品推荐| 亚洲精品色图一区二区| 欧美一级片黄片日韩黄片| 亚洲日本人妻中文字幕| 人妻少妇一区二区三区精品| 欧美精品一区二区三区白浆| 好大好长好紧爽小快色| 伊人高清资源在线播放| 久久久高清亚洲国产精品| 最近高清中文在线字幕| 日韩中文字幕久久一区二区三区| 国产精品国语对白一区二区|