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等離子清洗機(plasmacleaner)也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，通過對氣體施加足夠的能量，使之離化成等離子狀態(tài)。依靠等離子體中活性離子的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。等離子清洗機外接一臺真空泵，工作時清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔的沖刷被清洗物表面，短時間的清洗可以使有機污染物被*的清洗掉，同時污染物被真空泵抽走，清洗程度能達到分子級。有效避免了因液體清洗介質(zhì)對清洗物帶來的二次污染。
工作原理：
等離子清洗機采用氣體作為清洗介質(zhì)，通過化學(xué)反應(yīng)或物理反應(yīng)，達到清洗目的。
(1)化學(xué)反應(yīng)
在化學(xué)反應(yīng)里常用的氣體有氫氣(H2)、氧氣(O2)、甲烷(CH4)等，其反應(yīng)機理主要是利用等離子體里的自由基與材料表面做化學(xué)反應(yīng)。下圖為氧等離子體去除有機物的反應(yīng)過程。
(2)物理反應(yīng)
常見的氣體為氬氣，氬離子在自偏壓或外加偏壓作用下，被加速產(chǎn)生動能，轟擊放在負電極上的被清洗工件表面，一般用于去除氧化物、環(huán)氧樹脂或者微顆粒污染物，同時進行表面能活化。反應(yīng)過程如下：
風(fēng)險辨識如下：
(1)清洗介質(zhì)的泄漏風(fēng)險
清洗介質(zhì)一般為氣體，常使用氣瓶，通過管道送至設(shè)備使用，如果發(fā)生氣瓶或送氣管道、用氣設(shè)備的泄漏，可能會發(fā)生事故，如果使用氫氣、甲烷等易燃易爆氣體，室內(nèi)有明火、靜電等可能發(fā)生火災(zāi)、爆炸事故；如果使用氬氣，室內(nèi)通風(fēng)不良，可能發(fā)生窒息事故；如果使用氧氣，氧氣屬于氧化性氣體，會增加可燃物的易燃性，如果室內(nèi)氧氣濃度過高，可能會發(fā)生火災(zāi)事故。
(2)設(shè)備觸電風(fēng)險
1)電氣設(shè)施線路絕緣因擊穿、老化、腐蝕、機械損壞等失效。
2)未裝設(shè)漏電保護裝置或漏電保護裝置失效。
管控措施：
(1)防火、防爆、防窒息措施
1)規(guī)范氣瓶使用，氣瓶附件應(yīng)齊全，并采取防止傾倒的措施。氣瓶應(yīng)定期檢測，確保在有效期內(nèi)。供氣管道與用氣設(shè)備連接牢固。
2)如使用氧氣，氣瓶閥、接頭、減壓器、軟管及設(shè)備必須與油、潤滑脂及其它可燃物或相隔離。嚴禁用沾有油污的手、或帶有油跡的手套去觸碰氧氣瓶或氧氣設(shè)備。如使用氫氣，建議在使用設(shè)備附近設(shè)置氫氣泄漏報警器。
3)保持室內(nèi)通風(fēng)良好，通風(fēng)不良的應(yīng)加裝機械排風(fēng)。
(2)防觸電措施
設(shè)備應(yīng)接地，電源線無破損、老化現(xiàn)象。
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