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瑞士萬通離子色譜應用一芯中有我--電子級HF

來源:上海恪瑞儀器科技有限公司   2021年01月25日 14:48  

       中美貿(mào)易戰(zhàn)的大背景下還存在過一場日韓貿(mào)易戰(zhàn),大家應該還都有印象,日本對韓禁售電子級HF、氟聚酰亞胺和光刻膠,韓國哀嚎一片。為什么這三類產(chǎn)品對于韓國這么重要呢?

       別的且不說,電子級HF屬壟斷產(chǎn)品,其純度和潔凈度對集成電路的成品率、電性能及可靠性影響很大,主要用于半導體、太陽能和液晶顯示器等領域,是這些行業(yè)中關鍵的輔助材料之一。其中非常大應用市場是半導體產(chǎn)業(yè),約占電子級HF總消耗量47.3%;其次是太陽能產(chǎn)能,比重22.1%;液晶顯示器產(chǎn)業(yè)則占18.3%。半導體和液晶顯示都是韓國的支柱產(chǎn)業(yè),對韓國的重要性不言而喻,因此日本這一招可謂打在韓國的命脈上。因此韓國急忙轉(zhuǎn)向中國,韓國三星、LG、SK海力士等企業(yè)開始頻頻與中國相關企業(yè)聯(lián)系,據(jù)說也簽訂了一些購買協(xié)議。

       目前日韓貿(mào)易戰(zhàn)已經(jīng)告一段落,中美貿(mào)易戰(zhàn)卻是愈演愈烈,中興被處罰,華為被全面封鎖,中國人民感覺到了芯片產(chǎn)業(yè)的重要性,電子級HF做為半導體制作過程中應用非常多的超凈高純試劑之一,質(zhì)量必須得到保證。

       目前國內(nèi)現(xiàn)行關于HF的標準只有GB/T 31369-2015《太陽電池用電子級HF》,不過團體標準《電子工業(yè)用高HF》和《電子工業(yè)用高HF中痕量陰離子含量的測定  離子色譜法》已經(jīng)完成了意見征集,以上標準中均采用離子色譜來檢測HF中的痕量陰離子,離子色譜在保證電子級HF質(zhì)量方面具有*的作用。

          瑞士萬通離子色譜堅實耐用,整機由瑞士進口,取得“Swiss made”標識的使用資格(至少60%成本在瑞士,賦予產(chǎn)品基本特征的階段也必須在瑞士進行),十分適合HF中陰離子的檢測。

 

       離子色譜法直接分析HF中的痕量陰離子難度較大,高倍稀釋雖然能降低高含量的F-的干擾,但大大降低了待測陰離子的靈敏度。二維離子色譜法為此類樣品提供了解決方法。HF其實為一種弱酸,它可以在離子排斥柱上保留,因此可利用這一特性,樣品在離子排斥柱上預分離,強酸如HCl、HNO3、H2SO4等在排斥柱上不保留,通過閥切換技術(shù),進入第二套陰離子分析系統(tǒng)分析。

 

使用Metrosep Organic Acid做為離子排斥分離柱,淋洗液為超純水,進樣體積250μL,流速0.5mL/min,進行預分離;Metrosep A Supp 10-250做為陰離子分離柱,淋洗液: 5.0mM Na2CO3+5.0mM NaHCO3 ; 流速1.0mL/min,柱溫50℃,進行陰離子分析。

 

除電子級HF外,其它高純試劑如電子級硝酸、電子級磷酸、電子級過氧化氫等原料中痕量陰離子的檢測,瑞士萬通均可提供完善的解決方案。

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