達(dá)因特等離子清洗機(jī)-針對(duì)LED表面處理及解決方案，測(cè)試的玻璃表面涂抹的膠水，但是不會(huì)影響Mini LED這種精密的產(chǎn)品，Mini LED表面各個(gè)位置的環(huán)氧樹(shù)脂厚度還是很均勻的。

LED的技術(shù)要求：

顧名思義，“Mini”中文名稱(chēng)就是“迷你”的意思。如果說(shuō)小顧名思義，“Mini”中文名稱(chēng)就是“迷你”的意思。如果說(shuō)小間距LED顯示屏重在點(diǎn)間距之間的“小”，那么Mini LED自然就是達(dá)到更小的級(jí)別，堪稱(chēng)迷你這一級(jí)別了。如果我們追本溯源，將會(huì)發(fā)現(xiàn)Mini LED這個(gè)單詞，首先源自于晶電，目前晶電透露出來(lái)最新的有關(guān)Mini LED的消息，正是它的“可量產(chǎn)”進(jìn)程。

Mini LED是在小間距LED基礎(chǔ)上，衍生出來(lái)的一種新型LED顯示Mini LED是在小間距LED基礎(chǔ)上，衍生出來(lái)的一種新型LED顯示技術(shù)，也被稱(chēng)為亞毫米發(fā)光二極管，芯片尺寸介于50~200μm之間的LED器件。

LED顯示屏的技術(shù)要求：

Mini LED克服正裝芯片的打線(xiàn)及可靠性的缺陷，Mini LED克服正裝芯片的打線(xiàn)及可靠性的缺陷，同時(shí)結(jié)合COB封裝的優(yōu)勢(shì)，使顯示屏點(diǎn)間距進(jìn)一步縮小成為可能，對(duì)應(yīng)的終端產(chǎn)品的視覺(jué)效果大幅提升，同時(shí)視距能夠大幅減小，使得戶(hù)內(nèi)顯示屏能夠進(jìn)一步取代原有的LCD市場(chǎng)。

真空等離子原理介紹：

怎么產(chǎn)生等離子：

當(dāng)我們把固體冰加熱時(shí)會(huì)融化成液體水，水加熱會(huì)變成水蒸當(dāng)我們把固體冰加熱時(shí)會(huì)融化成液體水，水加熱會(huì)變成水蒸氣，氣體加熱到一定溫度或高壓電離時(shí)就會(huì)變?yōu)榈入x子體。

等離子產(chǎn)生原理：

電子離開(kāi)原子核，物質(zhì)就變成了由帶正電的原子核和帶負(fù)電的電子組成的、一團(tuán)均勻的“漿糊”，這些離子漿中正負(fù)電荷總量相等，因此它是近似電中性的，所以就叫等離子體。等離子表面處理是通過(guò)對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子體，通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。

達(dá)因特等離子解決方案：

考慮因素一：在真等離子除膠蝕刻中，溫度對(duì)蝕刻考慮因素一：在真等離子除膠蝕刻中，溫度對(duì)蝕刻效率，起到非常關(guān)鍵的作用，所以腔體內(nèi)材料要耐高溫?？紤]因素二：不同廠(chǎng)家的Mini LED，因?yàn)楣に嚥煌透邷爻潭炔灰粯樱郧惑w可應(yīng)用通水冷，循環(huán)水達(dá)到控溫的功能?？紤]因素三：在真空等離子除膠蝕刻的過(guò)程中，用到的工藝氣體，有氧氣、氮?dú)狻⑸倭康乃姆?，其中氧氣，四氟化碳的化學(xué)性質(zhì)，具有氧化性和腐蝕性，所以腔體材料也要耐氧化，耐腐蝕?？紤]因素四：Mini LED屬于非常精密的產(chǎn)品，所以對(duì)處理效果的均勻性要求也是非常高，通過(guò)多方面的測(cè)試驗(yàn)證，結(jié)合以往實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，設(shè)計(jì)出一款針對(duì)除膠行業(yè)，放電均勻性非常高的真空等離子設(shè)備。

真空等離子對(duì)環(huán)氧樹(shù)脂起到的作用：

真空等離子在通入氧氣和氮?dú)庠偌由僬婵盏入x子在通入氧氣和氮?dú)庠偌由倭康乃穆然?，在放電情況下，能快速的蝕刻掉環(huán)氧樹(shù)脂。三.真空等離子會(huì)不會(huì)*破壞環(huán)氧樹(shù)脂？因?yàn)镸ini LED間隙和Mini LED表面，環(huán)氧樹(shù)脂有厚度差，所以真空等離子，會(huì)優(yōu)先蝕刻Mini LED芯片表面上的環(huán)氧樹(shù)脂。使Mini LED發(fā)光更亮，增加清晰度。

1.在四層電極板，分別放置在三個(gè)位1.在四層電極板，分別放置在三個(gè)位置上，一共測(cè)試12組數(shù)據(jù)，進(jìn)行整理分析。2.從圖表可看出，蝕刻速率最大的是200A/S，蝕刻速率最小為173A/S，兩者之間相差27A/S。差距不明顯，相對(duì)總體數(shù)據(jù)，還是很均勻的。原因分析：測(cè)試的玻璃表面涂抹的膠水，是人工涂抹，每片之間厚度很難保持一致，玻璃表面涂抹的膠水也是不平整的，這些都會(huì)造成數(shù)據(jù)的偏差。但是不會(huì)影響Mini LED這種精密的產(chǎn)品，Mini LED表面各個(gè)位置的環(huán)氧樹(shù)脂厚度還是很均勻的。