微壓差變送器,其工作原理是介質(zhì)的壓力直接作用在傳感器的膜片上,使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻發(fā)生變化,利用電子線路檢測這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這個壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號。
以潔凈室為例。潔凈室的壓差就是潔凈室與周圍空間所必須維持的靜壓差。對于潔凈室來說,必要的壓差是控制漏氣方向的手段,是正常工作的基本條件。相鄰潔凈室之間如果靜壓差過大或因建造原因帶來的縫隙,將會造成空氣泄漏,嚴(yán)重時會使?jié)崈羰覂?nèi)的氣流紊亂。微電子行業(yè)的潔凈室為了保證潔凈度,不允許低潔凈度的空氣向高潔凈度區(qū)域泄漏。
采用Dwyer MS系列 Magnesense®微差壓變送器進行潔凈室測定,其優(yōu)勢體現(xiàn)在可用于監(jiān)測微壓/微差壓/真空,和監(jiān)測風(fēng)速/風(fēng)量。可自選出廠量程,可現(xiàn)場選擇公制/英制工程單位,可現(xiàn)場加裝LCD數(shù)顯,可調(diào)整輸出信號的阻尼系數(shù),當(dāng)和皮托管或其它差壓風(fēng)速傳感器配合測量風(fēng)速風(fēng)量時,可選擇開方輸出。
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