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滿足越來越嚴苛的電子氣體質(zhì)量要求，從源頭提升半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝
從去年開始“缺芯”一直困擾著眾多工業(yè)行業(yè)的發(fā)展，尤其是汽車行業(yè)受到的干擾更為突出。全球芯片代工廠都在滿產(chǎn)運轉(zhuǎn)，各大半導(dǎo)體供應(yīng)商無不開足馬力提升產(chǎn)量，擴展產(chǎn)能，提高未來市場話語權(quán)。而在半導(dǎo)體眾多工藝過程中，集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的電子氣體所扮演的角色也越發(fā)不能忽視。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。
隨著電子消費品的升級換代，整個電子工業(yè)界對電子氣體氣源純度，以及杜絕輸送系統(tǒng)二次污染的要求越來越苛刻?；旧瞎I(yè)界對電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術(shù)指標，直接與分析儀器技術(shù)進步帶來的低檢測極限（LDL）相關(guān)聯(lián)。
在實際生產(chǎn)過程中，半導(dǎo)體廠商發(fā)現(xiàn)隨著工廠生產(chǎn)工藝的提升，由于對大宗氣體檢測手段的落后，已經(jīng)無法提供更高雜質(zhì)檢出限（PPT級）的檢測結(jié)果，導(dǎo)致產(chǎn)品良品率持續(xù)降低：雖然氣體雜質(zhì)檢測結(jié)果正常，但是生產(chǎn)質(zhì)量卻頻頻出現(xiàn)問題。對于來自最終用戶對于大宗氣體質(zhì)量的指責(zé)，氣體供應(yīng)商也認為有必要在大宗氣體出廠之前就能夠完成質(zhì)量控制監(jiān)測，盡早減少生產(chǎn)波動、設(shè)備故障帶來產(chǎn)品質(zhì)量問題，確保質(zhì)量穩(wěn)定，消除與用戶的爭議。
Thermo Scientific™ APIX dQ（APIX Quattro）超高純電子氣質(zhì)譜分析儀
APIX dQ是賽默飛世爾科技與歐洲某氣體公司聯(lián)合開發(fā)的新一代超高純電子氣質(zhì)譜分析儀。APIX dQ采用了陽離子大氣壓離子化質(zhì)譜儀（ API-MS）技術(shù), 該技術(shù)被電子工業(yè)廣泛用于檢測超純大宗氣體中的眾多污染物，如H20, He, CO, CO2, O2, CH4, Kr 和 Xe 等。
相比于其他傳統(tǒng)的、由多個獨立的分析儀組成的分析儀系統(tǒng)，APIX dQ超高純電子氣質(zhì)譜分析儀有著自身*的優(yōu)勢：
測量下限低，可達到10ppt級；
氧氣 | 10ppt |
氫氣 | 150ppt |
甲烷CH4 | 10ppt |
水份 | 30ppt |
一氧化碳 | 50ppt |
二氧化碳 | 10ppt |
氮氣 | X |
氬氣 | X |
氪氣 | 10ppt |
*注：X表示不分析
2、單臺表能夠同時分析多種雜質(zhì)（見表1：APIX能夠監(jiān)測N2中的雜質(zhì)和測量下限）；
3、響應(yīng)時間快，每個組分小于1秒鐘；-分析N2中眾多雜質(zhì)不會超過10秒鐘；
4、運行成本低，維護量?。]有載氣、助燃氣等要求）；
5、配置簡單，不需要預(yù)處理系統(tǒng)，樣氣直接進行分析；
6、真正的在線分析儀，直接在線標定；
7、超過100臺套以上使用業(yè)績，為眾多電子廠商和大宗氣體供應(yīng)商在各地使用。
Thermo Scientific™ APIX dQ（APIX Quattro）超高純電子氣質(zhì)譜分析儀作為核心檢測手段，能夠為不斷高歌猛進的半導(dǎo)體工業(yè)，尤其是芯片制造領(lǐng)域提供可靠、準確，值得信賴的大宗電子氣純度和潔凈度的在線連續(xù)檢測。賽默飛四氣體在線雜質(zhì)檢查方案，提升了芯片的質(zhì)量和良品率，為芯片國產(chǎn)化和半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展提供了基礎(chǔ)保障，將不斷助力于國內(nèi)數(shù)字化、智能化、5G和工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)進程。
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