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納米壓印系統(tǒng)應(yīng)用及方法介紹

來源:科睿設(shè)備有限公司   2022年05月05日 11:46  
  納米壓印系統(tǒng)是一種用于數(shù)學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)領(lǐng)域的工藝試驗儀器。
 
  生物大分子的納米圖案變化對于組織工程具有非常重要的意義,如何將在生物活性前提下實現(xiàn)生物大分子的納米圖案仍然是一個科學(xué)挑戰(zhàn)。利用納米壓印過程的生物相溶性,可以將生物大分子DNA、蛋白質(zhì)等直接進行納米圖案化,進而研究其在生物醫(yī)療和組織工程領(lǐng)域的應(yīng)用。
 
  納米壓印方法:包括步驟:提供集成模具;所述集成模具包括平面板以及緊密固定在所述平面板上的多個具有納米圖案的單元模具;提供襯底;在所述襯底表面形成光刻膠層;將所述集成模具壓在所述光刻膠層上以將單元模具上的納米圖案復(fù)制在所述光刻膠層;分離所述平面板;以及將多個單元模具逐個與所述光刻膠層分離,以完成納米圖案的轉(zhuǎn)移。
 
  納米壓印系統(tǒng)引入了一個臺式、獨立的NanoImprint平臺。這個平臺提供了一個帶有微型定位夾具的機械平臺,用于安裝納米壓印室、紫外線固化源和校準(zhǔn)顯微鏡。它既可以作為納米壓印系統(tǒng),也可以作為傳統(tǒng)的掩模校準(zhǔn)器,同時為整個壓印過程提供可編程的自動控制。

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