真空擴散泵是達到高真空環(huán)境的常規(guī)產(chǎn)品，真空擴散泵的工作原理是這樣的：在前級真空泵所造成的低真空(4×10^-1Pa)條件下，加熱泵內(nèi)硅油，使受熱沸騰蒸發(fā)，生成蒸氣，以*速度通過該泵的各級噴口的縫隙噴出，使容器內(nèi)部的氣體分子擴散到蒸汽中被帶到前級真空泵所能作用的位置，由前級真空泵迅速抽出，使系統(tǒng)達到高真空的要求，極限壓力可到5×10^-4Pa。GTK150高真空擴散泵系統(tǒng)是我司自主研發(fā)的，將相互匹配的前級真空泵、擴散泵、復(fù)合真空計有效集成在一起，具有體積小、重量輕、節(jié)能高效的特點。

圖1 GTK150高真空擴散泵機組

如何進一步提高真空擴散泵的性能和質(zhì)量，主要有以下的一些方面考慮：

（1）目前國內(nèi)生產(chǎn)擴散泵的廠家較多，型號、尺寸不統(tǒng)一，大泵越作越大，小泵則很少生產(chǎn)，而且對泵的全面性能也沒有考核指標(biāo)。行業(yè)內(nèi)為了提高擴散泵的性能和質(zhì)量，應(yīng)當(dāng)定期進行檢查、組織生產(chǎn)廠家加大研發(fā)、多做改進工作，使用戶配套方便。

（2）在泵結(jié)構(gòu)方面的改進：要縮小尺寸、降低重量，保證零件的加工精度，可增加級數(shù)，提高在4×10^-1Pa時的抽氣量，并給出幾種常用的被抽氣體的抽氣量。

（3）增加附件設(shè)備：如設(shè)置擋油帽，過熱保護裝置（對冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線測和自動保護，可自動切斷和復(fù)位），出口壓力的監(jiān)控設(shè)備等等。

（4）規(guī)定油量的最大值和最小值和耗油量（如0.5-0.7 g/h等）；要觀察油位，以方便用戶及時注油；從觀察窗看泵油變質(zhì)情況以便及時更換。

（5）給出合適的前級泵的容量。

（6）為了節(jié)能加熱功率要可調(diào)，要快速起動和快速冷卻停泵，提高設(shè)備的運轉(zhuǎn)率。

（7）給出各種被抽氣體的性能曲線，最好給出對一些氣體的壓縮比，方便用戶選用。

（8）接入PC數(shù)字化控制，保證運行正常，并提供故障自動診斷功能。

（9）密封處要選高質(zhì)量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。