5.4.1 特種氣體探測系統(tǒng)在確認氣體泄漏時，應自動關(guān)閉相關(guān)部位的氣體切斷閥，并應接受反饋信號，特種氣體站房的事故通風裝置應與其氣體泄漏和氣體切斷信號聯(lián)鎖。

5.4.2 特種氣體探測系統(tǒng)確認氣體泄漏時，應自動啟動泄漏現(xiàn)場的聲光報警裝置，該聲光報警應有別于火災報警裝置，并應自動啟動應急廣播系統(tǒng)。

5.4.3 特種氣體探測系統(tǒng)確認氣體泄漏后，應關(guān)閉有關(guān)部位的電動防火門、防火卷簾門，自動釋放門禁，可聯(lián)動閉路電視監(jiān)控系統(tǒng)，應啟動相應區(qū)域的攝像機，并應自動錄像。

5.4.4 地震探測裝置探測到里氏5級以上地震，且兩臺地震探測裝置同時報警時，特種氣體管理系統(tǒng)確認收到的信號后，應啟動現(xiàn)場的聲光報警裝置;同時，應關(guān)閉氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤的切斷閥門。

5.4.1 本條規(guī)定在確認特種氣體泄漏后，為確保生產(chǎn)車間和特種氣體系統(tǒng)的安全、應采取各項聯(lián)動控制，啟動顯示、記錄功能。一旦特種氣體泄漏后，切斷閥、事故通風裝置與氣體探測器聯(lián)動，自動啟動相應的事故通風裝置、關(guān)閉切斷閥，切斷氣體來源。特種氣體站房環(huán)境設(shè)置事故排風是因為特種氣體站房氣體儲存量較大，存在大量氣體進人房間的可能，按照國家標準《工業(yè)建筑供暖通風與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范》GB 50019-2015第6.4.1條，對可能突然放散大量有毒氣體、有爆炸危險氣體或粉塵的場所，應根據(jù)工藝設(shè)計要求設(shè)置事故通風系統(tǒng)。而在實踐中，凈化廠房及上、下技術(shù)夾層屬于空調(diào)環(huán)境，且空間較大、循環(huán)風量較大，且相對氣體量較小，為此，通常不考慮設(shè)計事故通風。
5.4.2 為了保護人員的生命安全，本條規(guī)定當氣體探測系統(tǒng)確認氣體泄漏時，應啟動泄漏現(xiàn)場的聲光報警裝置，提醒作用人員采取應急措施和迅速離開事故現(xiàn)場。
5.4.3 為保障生命安全，在氣體探測系統(tǒng)確認氣體泄漏時，本條規(guī)定通過氣體報警系統(tǒng)或廠務設(shè)備管理和控制系統(tǒng)(FMCS)系統(tǒng)聯(lián)動與安全逃生有關(guān)的通道部位，主要有關(guān)閉有關(guān)部位的電動防火門、防火卷簾門，自動釋放門禁門，可聯(lián)動閉路電視監(jiān)控(CCTV)系統(tǒng)，喚醒、啟動相應區(qū)域的攝像機，進人連續(xù)錄像，保留證據(jù)。
5.4.4 為了保護人員的生命安全，并考慮工廠生產(chǎn)不會因為地震儀的誤動作造成不必要的恐慌而影響生產(chǎn)，本條規(guī)定只有當兩臺地震探測裝置同時報警時，才應啟動現(xiàn)場的聲光報警裝置。

5.4.5 本條為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。本條規(guī)定室外大宗硅烷系統(tǒng)與室內(nèi)硅烷輸送系統(tǒng)探測器的布置原則，規(guī)定室外大宗硅烷系統(tǒng)必須設(shè)置紫外、紅外火焰探測器，室內(nèi)硅烷輸送系統(tǒng)應設(shè)置火焰探測器或感溫探測器，目的是為了發(fā)現(xiàn)早期微量火焰，及早報警并關(guān)閉氣體供應系統(tǒng)，杜絕危險環(huán)境擴大，保護人員與財產(chǎn)安全。由于室外環(huán)境多變，溫度、濕度隨季節(jié)變化，規(guī)定設(shè)置環(huán)境適應能力強的紫外、紅外探測器，室內(nèi)環(huán)境相對固定，為增加探測器的選擇范圍，規(guī)定設(shè)置火焰探測器或感溫探測器，這種規(guī)定也是國內(nèi)電子工廠目前普遍的做法。美國國家標準學會標準《硅烷和硅烷混合物的儲存和操作》ANSI/CGAG-13-2015第n.2(火焰?zhèn)蓽y)條、11.2.1(室外系統(tǒng))條、11.2.2(室內(nèi)系統(tǒng))條也做了規(guī)定，上述條款摘錄如下：
    11.2.1 室外 系 統(tǒng) ， 當硅烷輸送系統(tǒng)布置在室外時，應布置經(jīng)核準用于硅烷的火焰探測系統(tǒng)用于潛在的硅烷泄漏區(qū)域的火焰?zhèn)蓽y，如硅烷瓶支撐架、硅烷集裝瓶組、ISO瓶組、工藝和吹掃氣體盤。用于室外的偵測器應符合硅烷室外條件和經(jīng)過不受太陽光、電弧焊、人工區(qū)域照明，或偏離使偵測器誤動作的紫外或紅外光源的測試。
    11.2.2 室內(nèi)系統(tǒng)，當硅烷輸送系統(tǒng)布置在室內(nèi)房間或區(qū)域時，火焰?zhèn)蓽y系統(tǒng)應適用于硅烷，火焰?zhèn)蓽y器按照11.2.2.1、11.2.2.2和11.2.3或酌情進行設(shè)置，用于室內(nèi)的偵測器應經(jīng)過不受太陽光、電弧焊、人工區(qū)域照明，或偏離使偵測器誤動作的紫外或紅外光源的測試。