超精密氣浮臺(tái)是基于靜態(tài)氣動(dòng)軸承，其安裝在滾珠面板基底：頂部與面板連接，由承轉(zhuǎn)子組成。在球和板之間有氣隙。定子與臺(tái)座外殼對(duì)應(yīng)的負(fù)形連接。定子采用內(nèi)節(jié)流原理安裝，氣動(dòng)分布通道系統(tǒng)與噴嘴組合。轉(zhuǎn)子定子與轉(zhuǎn)子在定壓和負(fù)載下沒(méi)有接觸?？捎糜趫A度測(cè)量系統(tǒng)、中心偏差測(cè)量系統(tǒng)和粗糙度測(cè)量系統(tǒng)。

超精密氣浮臺(tái)基本特性

載重能力強(qiáng)，重復(fù)精度高；無(wú)限的使用壽命；無(wú)塵室應(yīng)用環(huán)境；不滑行動(dòng)作；不磨損，不調(diào)整。

技術(shù)指標(biāo)：

轉(zhuǎn)動(dòng)精確度(徑向和軸向跳動(dòng))。玻璃纖維編碼器：相對(duì)定位精度。有兩個(gè)版本的空氣軸承轉(zhuǎn)盤(pán)：轉(zhuǎn)盤(pán)，有角編碼器，連轉(zhuǎn)盤(pán)旋轉(zhuǎn)均勻，無(wú)角度位置控制。

可以根據(jù)應(yīng)用程序使用其他驅(qū)動(dòng)器：

帶子傳動(dòng)采用DC高精度齒輪裝置，高精度定位，轉(zhuǎn)速每分鐘可達(dá)3轉(zhuǎn)；DC驅(qū)動(dòng)，DC驅(qū)動(dòng)采用DC無(wú)刷力矩電機(jī)，轉(zhuǎn)速在0.2-200rpm之間；全部轉(zhuǎn)盤(pán)都是水平或垂直的。該設(shè)備配置精密地支撐板和帶有螺紋孔的螺紋孔來(lái)夾住螺母或T型槽(可供選擇)。

選擇：

平傾調(diào)節(jié)裝置；吸附器；電子旋轉(zhuǎn)控制裝置；

高分辨角編碼器；

巖石基礎(chǔ)，帶有減震元件，

氣體過(guò)濾器系統(tǒng)

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