自從2020年Quantum Design中國子公司將英國Moorfield nanotechnology公司生產(chǎn)的臺(tái)式高精度薄膜制備與加工系統(tǒng)引進(jìn)國內(nèi)市場以來受到了國內(nèi)科研工作者的廣泛關(guān)注。Moorfield Nanotechnology推出的臺(tái)式設(shè)備體積小巧但性能可以和大型設(shè)備相媲美，并且自動(dòng)化程度高、操作簡單、性能可靠、配置靈活。設(shè)備所具有的這些優(yōu)點(diǎn)正是現(xiàn)代實(shí)驗(yàn)所需要的。Moorfield Nanotechnology長期收集用戶的需求并對(duì)產(chǎn)品線進(jìn)行不斷的優(yōu)化豐富，以滿足各種個(gè)性化的實(shí)驗(yàn)需求。

近年來，越來越多的前沿研究中需要用到多種薄膜制備手段，而傳統(tǒng)的設(shè)備往往只有一種薄膜制備功能，制備一個(gè)樣品就需要先后在不同的設(shè)備中進(jìn)行操作，并且容易對(duì)樣品的性質(zhì)造成破壞。針對(duì)這樣的需求，Moorfield Nanotechnology公司全新推出了臺(tái)式高精度濺射與熱蒸發(fā)系統(tǒng)——nanoPVD ST15A。該系統(tǒng)可以集成金屬/絕緣體濺射、金屬熱蒸發(fā)、有機(jī)物蒸發(fā)功能，在同一臺(tái)設(shè)備中可以實(shí)現(xiàn)多種制備手段的組合，將薄膜制備帶入了新的高度。系統(tǒng)通過7英寸觸摸屏控制，自動(dòng)化程度高，各種制備方式可以自由切換，甚至可以同時(shí)進(jìn)行。用戶可以通過靈活的制備手段在在同一臺(tái)設(shè)備中制備不同的薄膜或者是復(fù)合薄膜。

nanoPVD ST15A外觀圖

設(shè)備技術(shù)特點(diǎn)

? 臺(tái)式設(shè)備配置靈活

? 磁控濺射、熱蒸發(fā)、有機(jī)物蒸發(fā)

? 三種制備手段可靈活組合

? 可制備金屬、有機(jī)物、電介質(zhì)薄膜

? 多達(dá)3個(gè)流量計(jì)控制過程氣體

? 高精度自動(dòng)氣壓控制選件

? 全自動(dòng)觸屏操作系統(tǒng)

? 基片大至4英寸

? 可選基片加熱

? 本底真空<5 × 10^-7 mbar

? 可選共濺射（蒸發(fā)）功能

? 可選晶振膜厚標(biāo)定功能

? 定義保存多個(gè)制備程序

? 全面的安全性設(shè)計(jì)

? 超凈間兼容

? 穩(wěn)定的性能

左：nanoPVD ST15A 雙蒸發(fā)源與磁控濺射組合，右：系統(tǒng)的樣品臺(tái)與擋板

背景介紹

Moorfield Nanotechnology是英國材料科學(xué)領(lǐng)域高性能儀器研發(fā)公司，成立25年來專注于高質(zhì)量的薄膜生長與加工技術(shù)，擁有雄厚的技術(shù)實(shí)力，推出的多種高性能設(shè)備受到科研與工業(yè)領(lǐng)域的廣泛好評(píng)。Moorfield公司近十年來與曼徹斯特大學(xué)諾獎(jiǎng)技術(shù)團(tuán)隊(duì)緊密合作，推出的臺(tái)式高精度薄膜制備與加工系列產(chǎn)品由于其體積小巧、性能優(yōu)異、易于操作更是受到很多科研單位的贊譽(yù)。這些設(shè)備已經(jīng)進(jìn)入了歐洲多所科研院所的實(shí)驗(yàn)室，諸如曼徹斯特大學(xué)、劍橋大學(xué)、帝國理工學(xué)院、諾森比亞大學(xué)、巴斯大學(xué)、?？巳卮髮W(xué)、哈德斯菲爾德大學(xué)、萊頓大學(xué)、亞森工業(yè)大學(xué)、西班牙光子科學(xué)研究所、英國國家物理實(shí)驗(yàn)室等單位都是Moorfield Nanotechnology的用戶和長期合作者。諸多的用戶與合作者讓產(chǎn)品的性能和設(shè)計(jì)理念得到了高速發(fā)展，并邁入全球化的進(jìn)程。

Quantum Design中國子公司與Moorfield Nanotechnology正式合作，作為中國的代理和戰(zhàn)略合作伙伴，為中國用戶提供高性能的設(shè)備與優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。除了臺(tái)式設(shè)備之外我們還提供多種大型設(shè)備和定制服務(wù)。目前國內(nèi)已有包括清華大學(xué)、西湖大學(xué)、大連理工大學(xué)、廣東工業(yè)大學(xué)、中科院等多個(gè)單位采購了不同型號(hào)的Moorfield高性能薄膜制備與加工設(shè)備。

產(chǎn)品鏈接

1、臺(tái)式高性能多功能PVD薄膜制備系列—nanoPVD