等離子體發(fā)生器中的等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊情況下所形成的*情況和成分。典型的等離子的組成是，電子、離子、自由基和質(zhì)子。這似乎是將固體轉(zhuǎn)化為氣體所需要的能量，而制造離子體也需要能量。一定數(shù)量的離子體由帶電顆粒和中性顆粒(包括原子、離子和自由顆粒)混合而成。
       

等離子體可以導(dǎo)電并與電磁反應(yīng)。等離子體發(fā)生器形成等離子體的裝置，是在密封容器內(nèi)設(shè)置兩個(gè)電極以形成電場(chǎng)，通過(guò)真空泵達(dá)到一定的真空度，當(dāng)氣體越來(lái)越稀薄時(shí)，分子之間的間距和分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離越來(lái)越長(zhǎng)，它們發(fā)生碰撞形成等離子體，這時(shí)會(huì)發(fā)出輝光，因此稱為輝光放電處理。
       

等離子體發(fā)生器的形成機(jī)理包括電離反應(yīng)、帶電粒子的傳輸以及電磁運(yùn)動(dòng)學(xué)等理論。等離子體發(fā)生器的形成與氣化過(guò)程伴隨著電子、粒子和中性粒子的碰撞反應(yīng)。等離子體中粒子的碰撞會(huì)形成活性組分。由于等離子體處理的目的是改性表面或在其表面形成一層合成材料，所以整個(gè)加工過(guò)程主要關(guān)注等離子體與材料的相互作用和反應(yīng)產(chǎn)物的生成。
       

每個(gè)等離子體發(fā)生器的工藝過(guò)程都會(huì)局限在一個(gè)多維參數(shù)的腔室中，這個(gè)腔室的大小決定了整個(gè)工藝的經(jīng)濟(jì)性、反應(yīng)質(zhì)量、反應(yīng)性能及其他參數(shù)，這些參數(shù)可以使處理過(guò)程具有競(jìng)爭(zhēng)性和工業(yè)應(yīng)用價(jià)值?？涨坏牟僮魇艿街T多限制條件的限制，如處理過(guò)程受到等離子體種類和反應(yīng)速度的限制，處理效率受到電能轉(zhuǎn)化為等離子體密度方式的限制，反應(yīng)產(chǎn)量受到某些原料在加工過(guò)程中消耗的限制。
在等離子體發(fā)生器輔助制造工業(yè)中。等離子體一般具有下列用途：
1.等離子體發(fā)生器可以作為熱源；
2.等離子體發(fā)生器可以作為化學(xué)催化劑；
3.等離子體發(fā)生器可以作為高能離子流和電子流源；
4.等離子體發(fā)生器可以作為濺射粒子源；
       

在很多工藝中，隨處可見(jiàn)等離子體發(fā)生器的這幾種基本特性，這就逐漸形成了以等離子體為處理手段的基礎(chǔ)制造業(yè)。單獨(dú)的某種處理過(guò)程或幾種處理過(guò)程綜合作用可賦予等離子體不同的用途。例如，在等離子體中，利用等離子體的化學(xué)合成作用形成新的化學(xué)藥品，或利用粒子的聚合作用在表面沉積形成薄膜等。