大氣壓力傳感器除被廣泛應(yīng)用在氣象監(jiān)測(cè)中外,還被應(yīng)用在很多方面:如將其安裝在無人機(jī)上,可以通過無人機(jī)的周圍氣壓與遙控器氣壓的對(duì)比,從而得知無人機(jī)和控制人員的高度差,幫助無人機(jī)更好的進(jìn)行著陸;將其應(yīng)用在智能手機(jī)、智能手表,智能手環(huán)等消費(fèi)電子產(chǎn)品中可發(fā)揮更多的作用,還用來測(cè)量準(zhǔn)確的高度位置、改善室內(nèi)導(dǎo)航,熱量計(jì)算以及許多其它的應(yīng)用。
大氣壓力傳感器與半導(dǎo)體壓敏電阻壓力傳感器的制作原理類似,也是采用集成電路與微加工技術(shù),在一塊半導(dǎo)體基片(硅片)上形成壓力傳感器、溫度補(bǔ)償電路和放大電路。
在硅片的中間,從反面經(jīng)異向腐蝕形成了一個(gè)正方形的膜片(利用膜片將壓力變換成應(yīng)力),在膜片的表面,通過擴(kuò)散雜質(zhì)形成4個(gè)P型的測(cè)量電阻,以惠斯頓電橋方式連接,利用膜片的壓阻效應(yīng)(將加在膜片上的壓力變換成電阻的變化),在兩個(gè)輸出端子之間輸出一定的電位差。
在硅片的中間,從反面經(jīng)異向腐蝕形成了一個(gè)正方形的膜片(利用膜片將壓力變換成應(yīng)力),在膜片的表面,通過擴(kuò)散雜質(zhì)形成4個(gè)P型的測(cè)量電阻,以惠斯頓電橋方式連接,利用膜片的壓阻效應(yīng)(將加在膜片上的壓力變換成電阻的變化),在兩個(gè)輸出端子之間輸出一定的電位差。
膜片的里面與硅杯之間設(shè)計(jì)成真空腔,用于緩和外部的應(yīng)力,并以此真空腔的壓力為基準(zhǔn)來測(cè)量大氣壓力。
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