表面粗糙度的評(píng)定方法
二維粗糙度評(píng)定
在常規(guī)工業(yè)加工領(lǐng)域中,Ra是常用的表面粗糙度評(píng)定參數(shù),其定義為在取樣長(zhǎng)度L內(nèi),輪廓偏距的絕對(duì)值的算術(shù)平均值。
三維粗糙度評(píng)定
隨著工業(yè)制造越來(lái)越精密化,特別是半導(dǎo)體和3C電子行業(yè),傳統(tǒng)的粗糙度評(píng)定為二維參數(shù)評(píng)定,評(píng)定的時(shí)候在一條線上進(jìn)行評(píng)定,不能夠完整地反映整個(gè)表面的全部信息,無(wú)法滿足行業(yè)發(fā)展需求。
表面形貌的三維評(píng)定方法是利用區(qū)域表面獲得所需要的相關(guān)信息,給出表面形成機(jī)理信息和研究表面的直觀圖像,三維評(píng)定從整體上對(duì)零件表面特征進(jìn)行描述,具有全局性。Sa為常用的三維表面粗糙度評(píng)定參數(shù)。
Sa為表面算術(shù)平均高度,指輪廓表面內(nèi)的點(diǎn)與中心面距離的算術(shù)平均或幾何平均值,在取樣區(qū)域D上,被測(cè)量的輪廓面和建立的基準(zhǔn)面之間的z坐標(biāo)距離的算術(shù)平均,即表面粗糙度曲面方程z坐標(biāo)絕對(duì)值的算術(shù)平均。
該儀器具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍寬、操作簡(jiǎn)便、便于攜帶、工作穩(wěn)定等特點(diǎn),可以廣泛應(yīng)用于各種金屬與非金屬的加工表面的檢測(cè),該儀器是傳感器主機(jī)一體化的袖珍式儀器,具有手持式特點(diǎn),更適宜在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)使用。外形設(shè)計(jì),堅(jiān)固耐用,抗電磁干擾能力顯著,符合當(dāng)今設(shè)計(jì)新趨勢(shì)。
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