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紫外臭氧清洗機(jī)是一款臺(tái)式的紫外臭氧清洗設(shè)備。通過紫外線和臭氧清洗基材表面，能夠簡單，經(jīng)濟(jì)，快速獲得超潔凈表面。能去除大多數(shù)無機(jī)基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機(jī)污染物。特別是當(dāng)基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時(shí)，紫外清洗非常理想。獲得超潔凈的表面，只需要在傳統(tǒng)清洗后，再用紫外臭氧清洗幾分鐘。使用該設(shè)備清洗的好處有：
1、是一種無接觸方式，可在空氣中進(jìn)行并且在清洗后不必進(jìn)行干燥。
2、可清除物體表面的碳和有機(jī)污染物。
3、沒有溶劑揮發(fā)及廢棄溶劑的處理問題。
4、保證產(chǎn)品的高可靠性和高成品率。
5、產(chǎn)品表面清洗處理的均勻度一致。
6、由于光清洗是通過光敏、氧化反應(yīng)去除物體表面的碳和有機(jī)化合物，所以容易發(fā)生氧化的表面不宜用光清洗方法，只適對(duì)表面污垢清洗、不適對(duì)污垢量較多的無機(jī)類污垢清洗。
紫外臭氧清洗機(jī)應(yīng)用在生活中的作用：
1、在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，硅晶片涂保護(hù)膜、鋁蒸發(fā)膜前進(jìn)行光清洗，可以提高粘合力，防止針孔、裂縫的發(fā)生。
2、光學(xué)玻璃經(jīng)過紫外光清洗后，鍍膜質(zhì)量更好。
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