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原位掃描電鏡（SEM）的應(yīng)用原理主要是利用電子成像來(lái)觀察樣品的表面形貌。當(dāng)一束極細(xì)的高能電子束在試樣上掃描時(shí)，與試樣相互作用產(chǎn)生各種物理信息，如二次電子、背散射電子、特征X射線和連續(xù)譜X射線、透射電子等。通過(guò)對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測(cè)試試樣表面形貌的觀察。
SEM的分辨率高于光學(xué)顯微鏡的分辨率，因?yàn)殡娮拥牟ㄩL(zhǎng)遠(yuǎn)小于光的波長(zhǎng)。此外，SEM還可以進(jìn)行樣品表面的元素分析，如C、S、N等元素的分布情況。
在具體應(yīng)用中，原位掃描電鏡可以用于材料科學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的研究和質(zhì)量控制。例如，在材料科學(xué)領(lǐng)域，SEM可以觀察金屬、陶瓷、高分子等材料的表面形貌和微觀結(jié)構(gòu)；在生物學(xué)領(lǐng)域，SEM可以觀察細(xì)胞和組織的表面形貌和結(jié)構(gòu)；在醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，SEM可以用于疾病診斷和藥物研發(fā)等。
原位掃描電鏡的應(yīng)用原理是通過(guò)電子束與樣品相互作用產(chǎn)生各種物理信息，對(duì)這些信息進(jìn)行接收、放大和顯示成像，從而獲得試樣表面形貌和結(jié)構(gòu)的信息。
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