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納米壓痕儀是一種用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測(cè)試的儀器，其主要由控制系統(tǒng)、移動(dòng)線圈系統(tǒng)、加載系統(tǒng)及壓頭等幾個(gè)部分組成。在使用納米壓痕儀時(shí)，有一些重要的注意事項(xiàng)需要遵守：
首先，確保實(shí)驗(yàn)環(huán)境的穩(wěn)定，避免外界干擾對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果的影響。若時(shí)間允許，提前將樣品放置在載物臺(tái)上，以保持樣品與載物臺(tái)上溫度一致。其次，進(jìn)行納米壓痕測(cè)試前，請(qǐng)確保待測(cè)試樣品的表面干凈、平整，以避免測(cè)試結(jié)果受到污染或不均勻表面的影響。
在測(cè)試過程中，應(yīng)盡量避免外界震動(dòng)或干擾，以確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性。同時(shí)，在更換樣品或針尖時(shí)，請(qǐng)確保儀器處于關(guān)閉狀態(tài)，并按照相關(guān)操作規(guī)程進(jìn)行更換，以免損壞儀器或造成意外傷害。此外，定期清潔和維護(hù)納米壓痕儀，以保持其正常工作狀態(tài)和穩(wěn)定性。
在實(shí)驗(yàn)參數(shù)(加載程序)的選擇上，對(duì)于準(zhǔn)靜態(tài)實(shí)驗(yàn)而言，在峰值載荷Pmax不變的情況下，可變的實(shí)驗(yàn)參數(shù)包括加載時(shí)間、保載時(shí)間和卸載時(shí)間。根據(jù)ISO 14577-1-2015標(biāo)準(zhǔn)，加載時(shí)間、保載時(shí)間和卸載時(shí)間一般可分別選擇30s、30s和10s。
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