半導體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴格清洗。微量污染也會導致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì),包括有機物和無機物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài),有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機污染包括光刻膠、有機溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等,嚴重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導;堿金屬如鈉等,引起嚴重漏電;顆粒污染包括硅渣、塵埃、細菌、微生物、有機膠體纖維等,會導致各種缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化學清洗兩種。
晶圓、鏡片、玻璃、電路板表面檢測用 LED超高亮度光源 PSVLX1-F5016
特點: 1. LED冷光源,不會在照射表面產(chǎn)生高溫。 2. 20000小時長壽命。 3. 采用低功耗高效LED,無風扇自然散熱,適合無塵車間使用。 4. 通過使用可選配件濾鏡,可在黃光和白光之間切換。 規(guī)格: 照度 LWD 150mm時, 15萬Lux。 光斑大小 LWD 150mm時, 光斑直徑65~80mm可調(diào)。 電壓 AC 100~240V。 消耗功率 最大30W。 重量 光源 1.7Kg,電源0.8Kg。 最大尺寸 長290mm,寬180mm,高610mm。
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