磁控濺射鍍膜機具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,具體如下:
功能薄膜領(lǐng)域:各種功能性薄膜,如吸收、透射、反射、折射、偏振等作用的薄膜,例如低溫沉積氮化硅減反射膜,以提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。
裝飾領(lǐng)域:各種全反射膜及半透明膜等,如手機外殼、鼠標等。
微電子領(lǐng)域:作為非熱式鍍膜技術(shù),主要應(yīng)用在化學氣相沉積(CVD)或金屬有機物化學氣相沉積(MOCVD)中,用于生長薄膜材料。
光學領(lǐng)域:中頻閉合場非平衡磁控濺射技術(shù)已應(yīng)用于光學薄膜(如增透膜)、低輻射玻璃和透明導(dǎo)電玻璃等方面。透明導(dǎo)電玻璃廣泛應(yīng)用于平板顯示器件、太陽能電池、微波與射頻屏蔽裝置與器件、傳感器等。
機械加工行業(yè):表面功能膜、超硬膜、自潤滑薄膜的表面沉積技術(shù)自問世以來得到長足發(fā)展,能有效的提高表面硬度、復(fù)合韌性、耐磨損性和抗高溫化學穩(wěn)定性能,從而大幅度地提高涂層產(chǎn)品的使用壽命。
其他領(lǐng)域:在建材和民用的工業(yè)中,磁控濺射鍍膜技術(shù)可用于地磚等材料的表面處理,使材料更加結(jié)實耐磨,保持原來的質(zhì)感。在鋁合金制品的裝飾中也有著廣泛的應(yīng)用,可以保證鋁合金的裝飾效果不變,同時使得鋁合金裝飾品更加的堅固結(jié)實。此外,在玻璃深加工的產(chǎn)業(yè)中也有應(yīng)用,可以生產(chǎn)更多更高品質(zhì)的玻璃制品。
總的來說,磁控濺射鍍膜機在多個領(lǐng)域都有應(yīng)用,主要涉及材料科學、電子工程、能源科學等。
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