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常見覆蓋層測(cè)量的典型測(cè)量范圍

來源:深圳市藝慈儀器有限公司   2024年03月06日 15:30  

常見覆蓋層測(cè)量的典型測(cè)量范圍

表A.1   常見覆蓋層測(cè)量的測(cè)量范圍

覆蓋層

基體

近似厚度范圍

μm

in

0~100.0

0~0.004

0~60.0

0~0.0024

0~30.0

0~0.0012

0~30.0

0~0.0012

塑料

0~30.0

0~0.0012

陶瓷

0~8.0

0~0.00032

銅和鎳

0~8.0

0~0.00032

銅和鎳

0~15.0

0~0.0006

0~30.0

0~0.0012

陶瓷

0~30.0

0~0.0012

0~30.0

0~0.0012

0~30.0

0~0.0012

0~40.0

0~0.0016

-鎳合金

0~20.0

0~0.0008

0~7.0

0~0.00028

銅或鎳

0~50.0

0~0.0020

銅或鎳

0~50.0

0~0.002

0~60.0

0~0.0024

銅或鎳

0~60.0

0~0.0024

-鉛合金

銅或鎳

0~40.0

0~0.0016

0~40.0

0~0.0016


1:在整個(gè)范圍內(nèi)測(cè)量不確定度不是恒定的,而且靠近每個(gè)范圍兩端會(huì)增大。

2:所給定的范圍是近似的,而且主要取決于可接受的測(cè)量不確定度。

3:如果同時(shí)測(cè)量表層和中間層,由于熒光X射線光束的各種相互作用,即表層會(huì)吸收中間層的熒光,那么各覆蓋層材料可測(cè)厚度范圍會(huì)發(fā)生變化,例如測(cè)量在銅上的金和鎳時(shí),若金覆蓋層厚度超過2.0微米,則無足夠的熒光保證鎳層高精度測(cè)量。

4:當(dāng)進(jìn)行厚度大于0微米(如銅或鎳上的金:±0.005微米)覆蓋層厚度測(cè)量過程中,測(cè)量不確定度。這就必須了解測(cè)量范圍的下線。




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