UV-M03A

它是一種小巧輕便的手持式測量儀器。 它適用于管理生產(chǎn)車間配備紫外線燈的設備。 請用它來控制紫外線燈的紫外線照射量（照度和光強度）。

它是一種小巧輕便的手持式，可以輕松管理光刻設備的照度和光強度。

可以很容易地測量紫外線照度和光強度。

根據(jù)您正在使用（或計劃使用）的光源和光刻膠的靈敏度選擇 UV-25、35 或 42 的接收器。 但是，在電子電路（印刷電路）板的制造過程中使用時，建議選擇UV-SN25、UV-SN35和UV-SN42，在半導體和液晶基板的制造過程中使用UV-SD25、UV-SD35和UV-SD42

測量數(shù)據(jù)可通過RS-232C通信輸出傳輸。

它還具有模擬輸出。

SN模式已被長期使用我們的光刻設備和輻照設備的客戶廣泛采用，并保證了工藝管理的連續(xù)性。

SD型推薦給在半導體和液晶基板的制造過程中已經(jīng)使用其他公司生產(chǎn)的測光表的客戶，以及需要確保與這些測量儀器的數(shù)據(jù)兼容性的客戶（SD型也用于我們的光刻設備中的液晶基板的投影光刻設備和外圍光刻設備），以及使用全新測光表的客戶。

為了保證舊過程數(shù)據(jù)的兼容性，使用SN型為SD型提供指示值（在相同測量條件下測量用作校準輻射源的高壓UV燈的365nm發(fā)射線時顯示的照度值： mW/cm2）。

與可見光照度計（以LUX單位測量家庭、辦公室、商店、博物館等亮度的照度計）不同，適用于所有紫外線照度計的標準尚未建立（似乎正在為少數(shù)有限的應用進行JIS轉換工作）。

即使各公司的相對光譜靈敏度是以365nm發(fā)射線為主要組成的光源測量照度而制作的，也從測量的峰值波長（相對光譜靈敏度特性的波長用1表示），短波長側（約300nm~310nm）和長波長側（約380nm~400nm）的上升開始。 下降的波長和它前后的曲線略有不同。

此外，在設計方面已經(jīng)做出了努力，使感光器的感光角特性（據(jù)說是COSθ特性）更接近理想曲線，但現(xiàn)實情況是它們尚未實現(xiàn)。

接收器（可互換） UV-SD35 （UV-SN35）

測量波長范圍 310~385納米

測量照度范圍 0.001~50mW/cm2

測量光范圍 0.001~19999mJ/cm2

對準精度 在紫外線標準的1.5%以內±

重復性 1.5%±以內