尼康干涉物鏡10X/20X/50X應(yīng)用

用于半導(dǎo)體

精密儀器

電子和航空等領(lǐng)域

尼康CF PLan 50X DI參數(shù)

數(shù)值孔徑 0.55

工作距離（mm） 3.4

焦距（mm） 4

分辨率（μm） 0.5

景深（μm） 0.9

視場(mm) 目鏡，直徑25視場 0.5

目鏡，直徑20視場0.4

2/3"傳感器 (H x V) 0.18 x 0.13

?"傳感器 (H x V) 0.13 x 0.10

其它 可調(diào)干涉物鏡

物鏡是顯微鏡最重要的光學(xué)部件，利用光線使被檢物體第一次成像，因而直接關(guān)系和影響著成像的質(zhì)量和各項光學(xué)技術(shù)參數(shù)，是衡量是臺顯微鏡質(zhì)量的首要標(biāo)準(zhǔn)。

物鏡的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，制作精密，由于對像差原校正，在金屬的物鏡筒內(nèi)由相隔一定距離并被固定的透鏡組組合而成。每組透鏡又由不同的材料、不同參數(shù)的一至數(shù)塊透鏡膠合在一起。物鏡最前面的透鏡稱“前透鏡”，最后面的透鏡稱“后透鏡”，物鏡復(fù)合透鏡組的總焦距為物鏡的焦距。物鏡前透鏡與被檢物體之間的距離為工作距離（自由工作距離）。在高倍鏡檢時，為了防止物鏡與制片的相觸、壓碎玻片和損傷鏡頭，除物鏡的先端有彈簧裝置外，還應(yīng)使整套物鏡由低倍至高倍必須齊焦。

齊焦即是在鏡檢時，當(dāng)用某一倍率的物鏡觀察圖象清晰后，在轉(zhuǎn)換另一倍率的物鏡時，其成象亦應(yīng)基本清晰，而且象的中心偏離也應(yīng)在一定允許的范圍內(nèi)，也就是合軸程度。齊焦性能的優(yōu)劣和合軸程度的高低是顯微鏡質(zhì)量的一個重要標(biāo)志，它是與物鏡的本身質(zhì)量和物鏡轉(zhuǎn)換器的精度有關(guān)。優(yōu)質(zhì)的顯微鏡都是合軸、齊焦的。

物鏡種類很多，可從不同的角度來進(jìn)行分類，現(xiàn)分別述之。

根據(jù)物鏡前透鏡與蓋玻片之間的介質(zhì)不同，可分為：

（一） 系物鏡：鏡檢時，物鏡前透鏡與蓋玻片之間是以空氣（η=1）為介質(zhì)的。這類物鏡最為常用，如40X以下的物鏡，數(shù)值孔徑值均小于1。

（二） 水浸系物鏡：鏡檢時，物鏡前透鏡與蓋玻片之間是以水（η=1.333）為介質(zhì)的。水為蒸餾水，這類物鏡目前很少應(yīng)用。

（三） 油浸系物鏡：即油鏡頭，其放大率為90-100X。鏡檢時，物鏡前透鏡與蓋玻片之間常以香柏油、無熒光油（η=1.515左右）為介質(zhì)的。此外，有時還用甘油（η=1.450）、石蠟（η=1.471）為介質(zhì)。該類物鏡的外殼上常標(biāo)刻有“oil”、“IL”或“HI”字樣。

上述水浸與油浸系物鏡所應(yīng)用的介質(zhì)均為液體物質(zhì)，所以又稱為“浸液系物鏡”，數(shù)值孔徑值可大于1。

油鏡在使用后必須立即擦拭，不能久置，否則將有損鏡頭使解象力下降，而且浸油在干涸后也不易擦拭。擦拭是脫脂棉球蘸少量的灑精混合液輕輕擦去浸油，再用脫脂棉球或鏡頭紙輕擦一次。

根據(jù)物鏡放大率的高低，原則上可分為：

（一） 低倍物鏡：1X-6X，NA0.04-0.15；

（二） 中倍物鏡：6X-25X，NA0.15-0.40；

（三） 高倍物鏡：25X-63X，NA0.35-0.95；

（四） 油浸物鏡：90X-100X;NA1.25-1.40。

   根據(jù)物鏡象差校正的程度來進(jìn)行分類，這對我們使用者來說，是應(yīng)于了解的一個分類方法，現(xiàn)分述于下：

（一） 消色差物鏡（Achromatic objective）：這是常見的物鏡，外殼上常有“Ach“字樣，

其結(jié)構(gòu)比較簡單，由兩片透鏡膠合和兩片以上透鏡組成。

這類物鏡僅能校正軸上點的位置色差和球差以及消除近軸點慧差。由于玻璃材料等原

因，不能校正其它色光的色差和球差，而且場曲很大，故不能應(yīng)用于高級研究的鏡檢和顯微照相。鏡檢時，通常與惠更斯目鏡配合使用。

（二） 復(fù)消色差物鏡（Apochromatic objective）：復(fù)消色差物鏡的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，透鏡采用

了特種玻璃或熒石、氟石等材料制作而成，物鏡的外殼上標(biāo)有“APO”字樣。這種物鏡不僅能校正紅、綠、藍(lán)天三色光的色差，而且在同一焦點平面上造象，達(dá)到消除“剩余色差“（又稱二級光譜）的效果，同時能較好地校正紅、藍(lán)二色光的球差。由于對各種象差的校正極為完善，比相應(yīng)倍率的消色差物鏡有更大的數(shù)值孔徑，這樣不僅分辨率高、象質(zhì)優(yōu)，而且也有更高的有效放大率。因此，復(fù)消然差物鏡的性能很高，適用于高級研究鏡檢和顯微照相之用。鏡檢時應(yīng)與補嘗目鏡配合使用，否則圖象質(zhì)量下隆。

（三） 半復(fù)消色差物鏡（Semi apochromatic objective）：半復(fù)消色差物鏡又名氟石物鏡

物鏡的外殼上常標(biāo)有“FL”字樣。在結(jié)構(gòu)上透鏡的數(shù)目比消色差物鏡多，比復(fù)消色差物鏡少；在成象質(zhì)量上，遠(yuǎn)較消色差物鏡為好，接近于復(fù)消色差物鏡，能校正紅、藍(lán)二色光的色差及球差。鏡檢時也應(yīng)與補償目鏡配合使用。

（四） 平場物鏡（Plan objective）：平場物鏡是在物鏡透鏡系統(tǒng)中增加一塊半月形的厚

透鏡，以達(dá)到校正場曲的缺陷。平場物鏡的結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，尤以高倍平場物鏡更為復(fù)雜。平場物鏡的視場平坦、視場較大， 且工作距離也相應(yīng)地有所增長。因此，更適用于鏡檢和顯微照相之用。

   平場物鏡有：平場消色差物鏡在鏡頭的外殼上標(biāo)有Plan Ach：平場復(fù)消色差物鏡在鏡頭外殼上標(biāo)有Plan APO以及平場半復(fù)消色差物鏡，更為高級的為超平場物鏡和超平場復(fù)消色差物鏡。