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薄膜沉積設(shè)備“套件”的概述

來源:深圳市京都玉崎電子有限公司   2024年06月14日 20:27  
  1. 腔室單元:腔室、閘閥、濺射源(或蒸發(fā)源或等離子體源)、觀察口、樣品臺(tái)(可選:加熱或冷卻、射頻應(yīng)用)

  2. 排氣裝置:油回轉(zhuǎn)泵、渦輪分子泵(或油擴(kuò)散泵+閥門)、支架等。

  3. 真空管路:(帶壓力表口、排氣閥、進(jìn)氣口) 

  4. 真空計(jì)1:皮拉尼真空計(jì)

  5. 真空計(jì)2:熱陰極電離真空計(jì)(BA真空計(jì))

  6. 真空計(jì)3:隔膜真空計(jì)

  7. 電源裝置:濺射用直流電源(或?yàn)R射用射頻電源+匹配盒或電阻加熱蒸發(fā)用電源)

  8. 氣體引入單元:質(zhì)量流量控制器(或針閥組)

  9. 樣品輸送機(jī)器人(手動(dòng))

  10. 負(fù)載鎖和轉(zhuǎn)移室:(4 或 6 個(gè)室的室安裝表面)蓋子、粗抽閥、排氣閥、底座

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