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激光干涉儀可以完成哪些測量:SJ6000的全面應(yīng)用解析

來源:深圳市中圖儀器股份有限公司   2024年07月09日 14:56  

在制造領(lǐng)域,精度是衡量產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵指標(biāo)之一。激光干涉儀作為一項(xiàng)高精度測量技術(shù),其應(yīng)用廣泛,對于提升產(chǎn)品制造精度具有重要意義。

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線性測量:精確定位的基礎(chǔ)

SJ6000激光干涉儀采用邁克爾遜干涉原理,實(shí)現(xiàn)線性測量。該原理通過激光束的分光與反射,形成干涉條紋,進(jìn)而測量物體的位移。線性測量的應(yīng)用包括機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度以及反向間隙的測量與分析。

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角度測量:轉(zhuǎn)動精度的守護(hù)者

角度測量是激光干涉儀的另一項(xiàng)重要功能。通過測量反射光的光程差,干涉儀能夠精確地得出角度值。這項(xiàng)技術(shù)廣泛應(yīng)用于測量運(yùn)動軸的角擺和轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度,如直驅(qū)電機(jī)的旋轉(zhuǎn)角度測量。

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直線度測量:確保平直無誤

直線度測量是評估物體直線性的重要手段。SJ6000激光干涉儀通過測量移動過程中產(chǎn)生的橫向或縱向位移,來確定物體的直線度。這項(xiàng)功能特別適用于導(dǎo)軌等部件的直線度檢測。

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平行度與垂直度測量:空間幾何的精確控制

平行度和垂直度測量是激光干涉儀在二維和三維空間中的擴(kuò)展應(yīng)用。通過兩組直線度測量,干涉儀能夠計(jì)算出平行度和垂直度誤差,這對于確保機(jī)械部件在空間中的精確定位至關(guān)重要。

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平面度測量:表面平整性的檢測

平面度測量利用“對角法”在平面上進(jìn)行角度測量,通過軟件算法將角度變化轉(zhuǎn)換為平面上的高度變化,從而評估整個(gè)平面的平整性。這項(xiàng)技術(shù)對于大理石平臺等平面度要求高的場合尤為重要。


回轉(zhuǎn)軸測量:旋轉(zhuǎn)精度的評估

SJ6000激光干涉儀結(jié)合WR50自動精密轉(zhuǎn)臺,能夠?qū)崿F(xiàn)回轉(zhuǎn)軸的高精度測量。這種測量方式不僅能夠評估軸的旋轉(zhuǎn)精度,還能夠通過偏心軸測量附件,對那些難以直接安裝在軸心的部件進(jìn)行測量。

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動態(tài)測量:運(yùn)動性能的全面分析

動態(tài)測量是SJ6000激光干涉儀的高級功能之一。通過動態(tài)測量軟件,干涉儀能夠?qū)C(jī)器運(yùn)動進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅和頻率的分析,這對于評估機(jī)器的運(yùn)動控制性能和振動特性至關(guān)重要。


結(jié)語

SJ6000激光干涉儀以其高精度、多功能的特點(diǎn),在精密測量領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。無論是線性、角度、直線度、平行度、垂直度、平面度還是回轉(zhuǎn)軸的測量,SJ6000都能夠提供可靠的數(shù)據(jù)支持,幫助制造商提升產(chǎn)品質(zhì)量,確保精密制造的高標(biāo)準(zhǔn)。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,激光干涉儀的應(yīng)用領(lǐng)域?qū)⒏訌V泛,為制造貢獻(xiàn)更多力量。

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