場發(fā)射掃描電鏡的原理和維護措施

來源：深圳華普通用科技有限公司 2024年09月12日 09:00

　　場發(fā)射掃描電鏡是一種高分辨率的電子顯微鏡，它采用尖端肖特基熱場發(fā)射技術(shù)，具有許多優(yōu)勢和廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，它的工作原理主要包括以下幾個步驟：

　　1.電子源：使用場發(fā)射電子槍作為電子源，通過強電場使金屬的電子脫離束縛，形成高亮度、高相干性的電子束。

　　2.電子光學(xué)系統(tǒng)：電子束經(jīng)過一系列的電磁透鏡和光闌進行聚焦、偏轉(zhuǎn)和整形，最終形成一個細(xì)小的探針。

　　3.掃描系統(tǒng)：掃描線控制電子?xùn)|在樣品表面進行逐行掃描，與樣品相互作用產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號。

　　4.信號檢測與成像：配備多種探測器收集不同種類的信號，并經(jīng)過放大、處理后生成反映樣品表面形貌、結(jié)構(gòu)和成分信息的圖像。

　　5.真空系統(tǒng)：維持局真空環(huán)境以確保電子?xùn)|能夠在樣品表面產(chǎn)生足夠的信號，并防止電子槍和樣品受到污染。

　　為了保證場發(fā)射掃描電鏡的正常運行和延長其使用壽命，需要進行嚴(yán)格的日常維護和管理：

　　1.環(huán)境條件控制：保持電鏡室內(nèi)的溫度、濕度、排氣、震動、噪聲、磁場和接地等條件穩(wěn)定，避免對電子束產(chǎn)生干擾。

　　2.光學(xué)系統(tǒng)維護：定期檢查和維護電子光學(xué)系統(tǒng)的燈絲和光闌，確保其處于良好狀態(tài)。

　　3.真空系統(tǒng)維護：保持鏡筒和樣品室的高真空度，定期檢查真空泵的工作狀態(tài)并進行維護保養(yǎng)。

　　4.樣品處理：確保待觀察樣品干燥、無污染物，并選擇合適的制樣方法進行處理。

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