探針臺可以按照使用類型與功能來劃分，也可以按照操作方式來劃分成：手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。

手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的，這意味著晶圓載物臺、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數據需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優(yōu)點之一是只需要很少的培訓，易于配置環(huán)境和轉換測試環(huán)境，并且不需要涉及額外培訓和設置時間的電子設備、PC或軟件。由于其靈活和可變性高的特點，非常適合研發(fā)人員使用。

全自動探針臺相比上述兩種添加了晶圓材料處理搬運單元(MHU)和模式識別undefined(自動對準)。負責晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。可以24小時連續(xù)工作，通常用于芯片量產或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動探針臺價格也是遠比手動/半自動探針臺要昂貴。